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扫频光源OCT对单晶硅片制绒质量的检测

Sweep Light Source OCT Method for the Test of Textured Monocrystalline Silicon

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摘要

光学相干层析(OCT)是一种新型的光学信号获取与处理方式,它可以对光学散射介质进行扫描,获得的三维图像,分辨率可以达到微米级。尝试利用扫频光源OCT对在相同的制绒溶液配比下,不同制绒时间的单晶硅片进行检测,通过处理三维图像数据,判断制绒质量,为单晶硅制绒检测提供一种新方法。

Abstract

Optical coherence tomography (OCT) is an novel optical signal acquisition and processing method which can capture micrometer-resolution three-dimensional images from optical scattering media. Monocrystalline silicon wafers obtained with different texturing time and same corrosion solution are measured by sweep light source OCT. Through processing the OCT acquired data, the quality of monocrystalline silicon in different texturing time can be estimated. It may provide a new method for the test of textured monocrystalline silicon.

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补充资料

中图分类号:TN247

DOI:10.3788/lop50.021701

所属栏目:医用光学与生物技术

收稿日期:2012-10-22

修改稿日期:2012-10-30

网络出版日期:2013-01-04

作者单位    点击查看

于海民:江南大学理学院, 江苏 无锡 214122
牛源:江南大学理学院, 江苏 无锡 214122
刘桂林:江南大学理学院, 江苏 无锡 214122
孟卓:天津大学精密仪器与光电工程学院, 天津 300129苏州光环科技有限公司, 江苏 苏州 215123
姚晓天:江南大学理学院, 江苏 无锡 214122天津大学精密仪器与光电工程学院, 天津 300129General Photonics Corporation, 5228 Edison Avenue, Chino, California 91710, USA
李果华:江南大学理学院, 江苏 无锡 214122

联系人作者:于海民(yuhaimin0608@163.com)

备注:于海民(1988—),男,硕士研究生,主要从事OCT技术应用方面的研究。

【1】Rong Su, Mikhail Kirillin, Peter Ekberg et al.. Optical coherence tomography for quality assessment of embedded microchannels in alumina ceramic[J]. Opt. Express, 2012, 20(4): 4603~4618

【2】Yu Libo. Overview and forecast of fiber optic white-light interfreometry[J]. Acta Optica Sinica, 2011, 31(9): 0900137
苑立波.光纤白光干涉技术的回顾与展望[J]. 光学学报, 2011, 31(9): 0900137

【3】Xu Peng, He Hong, Ding Zhihua et al.. Research in subsurface morphologies of Jades with optical coherence tomography[J]. Chinese J. Lasers, 2011, 38(5): 0508004
许鹏, 何红, 丁志华. 光学相干层析应用于玉石亚表面结构的研究[J]. 中国激光, 2011, 38(5): 0508004

【4】Wu Wenjuan, Zhang Song, Zhang Liyuan et al.. Application of tetramethylammonium hydroxide in texturing of monocrystalline silicon[J]. J. Chinese Ceramic Society, 2011, 39(5): 125~129
吴文娟, 张松, 张立元 等. 四甲基氢氧化铵应用于单晶硅高效制绒[J]. 硅酸盐学报, 2011, 39(5): 125~129

【5】Yu Liping. Diffused Photon-Pair Density Wave in a Multiple Scattering Medium[D].Taiwan: National Yang-Ming University, 2005. 4~7
俞力平. 高浓度散射介质中的扩散光子对密度波[D]. 台北:国立阳明大学, 2005. 4~7

【6】Mark E. Brezinski. Optical Coherence Tomography: Principles and Applications [M]. New York: Academic Press, 2006. 297~306

【7】Huang Bingjie, Bu Peng, Wang Xiangzhao et al.. Optical coherence tomography based on depth resolved dispersion compensation[J]. Acta Optica Sinica, 2012, 32(2): 0217002
黄炳杰, 步鹏, 王向朝 等. 用于频域光学相干层析成像的深度分辨色散补偿方法[J]. 光学学报, 2012, 32(2): 217002

【8】Yang Liu, Wang Chuan, Ding Zhihua et al.. Image reconstruction in dioptric media for spectral domain optical coherence tomography[J]. Chinese J. Lasers, 2011, 38(5): 0504001
杨柳, 王川, 丁志华 等. 屈光介质中谱域光学相干层析成像的重构[J]. 中国激光, 2011, 38(5): 0504001

【9】Meng Zhuo. Research on Method and System Development of All Fiber Oral OCT[D]. Tianjin: Tianjin University, 2008. 16~29
孟卓. 全光纤口腔OCT方法研究与系统研制[D]. 天津; 天津大学, 2008. 16~29

【10】Meng Zhuo, Steve Yao, Yao Hui et al.. Detecting early artificial caries by using optical coherence tomography[J]. Chinese J. Lasers, 2010, 37(11): 2709~2713
孟卓, 姚晓天, 姚晖 等. 光学相干层析用于检测早期人工龋齿[J]. 中国激光, 2010, 37(11): 2709~2713

【11】Wu Wenjuan, Zhang Song, Han Peiyu et al.. Research on surface texturization of monocrystalline silicon based on reaction[J]. J. Synthetic Crystals, 2011, 40(2): 287~293
吴文娟, 张松, 韩培育 等. 快速制备单晶Si片绒面的研究[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(2): 287~293

【12】Wang Shuzhen, Qiao Qi, Chen Xiaojing et al.. Research on the texture and cleaning process of silicon wafer[J]. Semiconductor Technology, 2010, 35(4): 305~308
王淑珍, 乔琦, 陈肖静 等. 制绒Si片清洗工艺的研究[J]. 半导体技术, 2010, 35(4): 305~308

【13】Wang Zhihua, Liu Yuling, Zhang Jianxin. Application of the electrochemical cleaning method before solar texturing of solar cells[J]. Micronanoelectronic Technology, 2009, 46(2): 119~122
王志华, 刘玉岭, 张建新. 电化学清洗在太阳能电池制绒前的应用[J]. 微纳电子技术, 2009, 46(2): 119~122

引用该论文

Yu Haimin,Niu Yuan,Liu Guilin,Meng Zhuo,Yao Steve,Li Guohua. Sweep Light Source OCT Method for the Test of Textured Monocrystalline Silicon[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2013, 50(2): 021701

于海民,牛源,刘桂林,孟卓,姚晓天,李果华. 扫频光源OCT对单晶硅片制绒质量的检测[J]. 激光与光电子学进展, 2013, 50(2): 021701

被引情况

【1】严鑫,董俊卿,李青会,郭木森,胡永庆. 基于OCT技术对古代瓷釉断面结构特征的初步研究. 中国激光, 2014, 41(9): 908001--1

【2】汪鹏飞,童杏林,邓承伟. 一种基于SOA级联的扫频光源实验研究. 半导体光电, 2018, 39(4): 506-510

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