中国激光, 2013, 40 (8): 0805002, 网络出版: 2013-06-07   

非线性包层结构紫外固化聚合物阵列波导光栅研制

Research and Fabrication of a Ultraviolet Curable Polymeric Arrayed Waveguide Grating with Nonlinear Cladding
作者单位
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室, 吉林 长春 130012
摘要
利用自主合成的非线性有机-无机复合材料作为包层,紫外光敏型SU-8负胶为芯层,通过直接光写入技术成功研制了双有源包层结构聚合物41×41信道阵列波导光栅(AWG)器件。器件在设计中采用正矩形的波导结构。经计算,当包层厚度为5 μm,芯径尺寸为4 μm×4 μm时,可实现单模传输。 器件波长间隔定为0.8 nm,中心波长为1550 nm。经测试,该器件传输损耗为1.2 dB/cm,中心信道衍射损耗为6.2 dB,实测波长间隔为0.793 nm,器件的温度漂移量为-0.08 nm/℃。
Abstract
A compact 41×41 arrayed waveguide grating (AWG) device with double active layers is fabricated by using SU-8 minus negative core whose type is ultraviolet (UV) light-sensitive type and organic-inorganic hybrid material cladding. A rectangular waveguide structure is selected in the calculation of AWG and the single mode can be achieved with cladding thickness of 5 μm and the core cross sectional area of 4 μm×4 μm. For the AWG device, the channel space is set as 0.8 nm with the central wavelength of 1550 nm. After testing, the transmission loss is 1.2 dB/cm, the diffraction loss of the central channel is 6.2 dB, the tested channel space is 0.793 nm and the central wavelength shift is -0.08 nm/℃.

王雷, 李然, 牛小艳, 王菲, 孙小强, 陈长鸣, 张大明. 非线性包层结构紫外固化聚合物阵列波导光栅研制[J]. 中国激光, 2013, 40(8): 0805002. Wang Lei, Li Ran, Niu Xiaoyan, Wang Fei, Sun Xiaoqiang, Chen Changming, Zhang Daming. Research and Fabrication of a Ultraviolet Curable Polymeric Arrayed Waveguide Grating with Nonlinear Cladding[J]. Chinese Journal of Lasers, 2013, 40(8): 0805002.

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