激光与光电子学进展, 1989, 26 (5): 39, 网络出版: 2013-06-21
法国研制长寿命准分子紫外激光器
摘要
准分子紫外激光真的可靠吗?法国通用电气公司马科西研究中心的工作开辟了一条改进的道路。他们用准分子紫外激光进行有机材料加工，尤其是进行低温微电子材料的腐蚀或沉积。XeCl、KrF或ArF横向放电激励脉冲激光器，在阻力严重的工业中已看到前途。它的弱点是闸流管，它要在高速开关和高电压下保证预电离气体均匀放电,产生激光。
Abstract
李芬. 法国研制长寿命准分子紫外激光器[J]. 激光与光电子学进展, 1989, 26(5): 39. 李芬. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1989, 26(5): 39.
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