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基于ZF6基底的可见光宽谱带高性能增透膜

Wideband and high performance anti-reflection coatings in visible light spectrum based on ZF6 substrate

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摘要

以ZF6为基底, 采用电子束蒸发物理气相沉积方法设计并制备了一种增透波长为04~08 μm的宽谱带可见光区增透膜。薄膜材料仅含有TiO2和SiO2两种材料, 分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量, 测试结果表明: 薄膜平均透过率达9815%, 实际样品的光学特性与设计结果基本相符, 具有宽带的增透特性, 减少了表面剩余反射。机械强度与环境测试表明: 制备的薄膜具有良好的稳定性和牢固度, 可以应用于可靠性要求较高的光学系统中。

Abstract

A type of wideband anti-reflection film in the visible light spectrum from 04 μm to 08 μm was designed based on a ZF6 substrate, then the coatings were fabricated by Electron Beam Physical Vapor Deposition(EBPVD). Two types of coating materials, titanium oxide(TiO2) and silicon oxide(SiO2), were treated as high index and low index materials, respectively to use in this process. Edinburgh spectrometer was used to measure the transmittance of the sample which was coated the anti-reflection coatings on both side. The test result indicates that its average transmittance is about 9815%. It shows wideband anti-reflection characters and little surface residual reflection, and almost accords with the designing result. The measurement of stability and firmness indicates that the coatings have good performance, which makes it possible to be used in some rigorous optical systems.

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补充资料

中图分类号:O484.41

DOI:10.3788/co.20130604.0551

所属栏目:光学功能材料

基金项目:国家自然科学基金资助项目(No.60977001); 吉林省科技厅资助项目(No.20106015, No.20125092); 吉林省与中国科学院合作长吉图开发开放先导区科技创新合作专项资助项目(No.2011CJT0004)

收稿日期:2013-03-12

修改稿日期:2013-05-13

网络出版日期:--

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曲锋:中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
朱华新:江南大学 理学院, 江苏 无锡 214122
刘桂林:江南大学 理学院, 江苏 无锡 214122
李帅:江南大学 理学院, 江苏 无锡 214122
孙强:中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033

联系人作者:曲锋(sunq@ciomp.an.cn)

备注:曲锋(1984—), 男, 山东泰安人, 博士, 助理研究员, 主要从事光学、图像处理等方面的研究。E-mail: quf@ciomp.ac.cn 朱华新(1983—), 男, 江苏宜兴人, 博士, 讲师, 主要从事光学镀膜设计、制备、检测等方面的研究。E-mail: zhuhuaxin1312@163.com刘桂林(1989—), 男, 山东青岛人, 博士研究生, 主要从事光学镀膜、薄膜型太阳能电池方面的研究。E-mail: water198966@hotmail.com李帅(1991—), 男, 山东日照人, 硕士研究生, 主要从事光学镀膜方面的研究。E-mail: lishuai0205@163.com孙强(1971—), 男, 黑龙江海伦人, 博士后, 研究员,博士生导师, 2003年于南开大学获得博士学位, 2006年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所博士后出站, 主要从事现代红外光学仪器方面的研究。

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引用该论文

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曲锋,朱华新,刘桂林,李帅,孙强. 基于ZF6基底的可见光宽谱带高性能增透膜[J]. 中国光学, 2013, 6(4): 551-556

被引情况

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