应用光学, 2013, 34 (3): 463, 网络出版: 2013-10-23   

光学材料光学不均匀性绝对测量误差分析

Error analysis of absolute test method of inhomogeneity of optical materials
作者单位
成都精密光学 工程研究中心,四川 成都 610041
摘要
绝对测量技术去除了干涉仪参考面面形误差,可实现光学材料光学不均匀性的高精度测量。对现有主要光学材料光学不均匀性绝对检测技术进行了总结比较,针对像素错位、干涉图分辨率、干涉仪测量重复性、样品厚度以及折射率测量等因素对光学不均匀性绝对检测的影响进行了实验分析。实验结果表明:干涉仪重复性是光学不均匀性测量的主要误差。样品翻转测量法、样品直接透射测量法、平行平板样品测量法3种测量方法均可实现光学不均匀性(RMS)10-8检测精度。
Abstract
Absolute test eliminates the surface errors of reference plane of interferometer, so that the inhomogeneity of optical materials can be measured with high accuracy. A brief review and comparison of several mainstream absolute test methods for inhomogeneity of optical material were given. And influence of the factors, such as the pixel offset, resolution of interference pattern, repetition of interferometer, the sample thickness and the refractive index measurement, etc, on the measurement error of absolute test was analyzed respectively. Experimental results indicate that the measuring accuracy of window-flipping method, transmission method and parallel flat method can reach 10-8 respectively. Repetition of interferometer is the main error in absolute test method of the inhomogeneity of optical materials.

李强, 刘昂, 高波, 徐凯源, 柴立群. 光学材料光学不均匀性绝对测量误差分析[J]. 应用光学, 2013, 34(3): 463. LI Qiang, LIU Ang, GAO Bo, XU Kai-yuan, CHAI Li-qun. Error analysis of absolute test method of inhomogeneity of optical materials[J]. Journal of Applied Optics, 2013, 34(3): 463.

本文已被 2 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!