红外技术, 2014, 36 (1): 22, 网络出版: 2014-02-26   

一种新型的高均匀性非制冷红外读出电路研究

An Novel Readout Circuit Allowing Microbolometer to Operate with High Uniformity
作者单位
1 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 四川 成都 610054
2 东北微电子所, 辽宁 沈阳 110032
摘要
针对非制冷红外探测器系统,设计了一种高均匀性的读出电路(ROIC)结构。由于非制冷红外焦平面阵列中微测辐射热计的制作工艺存在偏差导致探测器输出存在非均匀性,其中列条纹尤为明显。所提出的读出电路能有效地消除列条纹、提高均匀性。该 ROIC已在 0.5.m CMOS工艺下成功流片,并应用到阵列大小为 320×240的非制冷微测辐射热计焦平面上。测试结果表明:固定图像噪声(FPN)仅为 0.088 V,无明显列条纹。该 ROIC在高均匀性的非制冷红外探测器上有着广泛的应用。
Abstract
This paper describes a new read-out IC(ROIC)architecture with high uniformity for the uncooled microbolometer detector. Mismatch which is due to the production process of uncooled infrared focal plane array of microbolometer leads to detector non-uniformly. Especially, the non-uniformity of column is the most obvious. Numerical simulation and measurement of the proposed ROIC architecture demonstrate high readout uniformity. A 320×240 uncooled microbolometer focal plane array(FPA)based on the proposed circuit was implemented on silicon using a 0.5.m CMOS technology. The test spatial fixed pattern noise voltage is 0.088 V. Thus it is ideally suited for high CMOS process.

周云, 张丽, 吕坚, 蒋亚东. 一种新型的高均匀性非制冷红外读出电路研究[J]. 红外技术, 2014, 36(1): 22. ZHOU Yun, ZHANG Li, LV Jian, JIANG Ya-dong. An Novel Readout Circuit Allowing Microbolometer to Operate with High Uniformity[J]. Infrared Technology, 2014, 36(1): 22.

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