应用激光, 2015, 35 (2): 224, 网络出版: 2015-05-20   

水环境下激光超声复合加工实验研究

Experimental Study of Laser-ultrasonic Combined Machining under Water
作者单位
1 安徽建筑大学材料与化学工程学院, 安徽 合肥 230022
2 安徽建筑大学机械与电气工程学院, 安徽 合肥 230022
摘要
提出并研究了水环境下激光超声复合加工方法, 利用该方法对氮化硅陶瓷进行刻蚀加工, 加工时对试样施以高频振动。通过实验对比分析激光能量、脉冲宽度、重复频率和超声振动功率等工艺参数对Si3N4在超声振动辅助与无振动辅助情况下激光刻蚀后的深度及表面质量的影响。研究结果表明, 在一定工艺参数范围内, 超声振动的加入可明显增加激光超声复合刻蚀的深度, 提高光洁度及表面质量。
Abstract
A new method of laser-ultrasonic combined machining under water and is applied to etch Si3N4 ceramics in this paper. The samples vibrate at a high frequency while being machined. A comparative study on the influence of process parameters used in laser machining with or without vibration on etching depth and surface quality of Si3N4 ceramics is presented. The results show that the introduction of ultrasonic vibration can increase the etching depth significantly and thus improve the surface quality within a certain range of parameters.

姚燕生, 王园园, 李修宇, 陈雪辉, 袁根福. 水环境下激光超声复合加工实验研究[J]. 应用激光, 2015, 35(2): 224. Yao Yansheng, Wang Yuanyuan, Li Xiuyu, Chen Xuehui, Yuan Genfu. Experimental Study of Laser-ultrasonic Combined Machining under Water[J]. APPLIED LASER, 2015, 35(2): 224.

本文已被 1 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!