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近紫外区宽带反光镜的膜系优化设计与制备

Optimization design and preparation of near ultraviolet broadband reflector coating

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摘要

依据紫外光学系统中紫外反光镜的使用要求,并结合汞灯发光光谱,提出了R>93%@300~450 nm(R为反射率);Tavg>85%@500~1 000 nm(Tavg表示平均透过率)的近紫外区宽带高反射率的设计指标。选用Ta2O5和SiO2分别作为高低折射率材料,并采用正交试验法确定了Ta2O5和SiO2膜料的折射率、消光系数和制备工艺参数。在规整周期性膜系的基础上,利用膜系设计软件进行优化设计,同时分析了膜层的敏感度,保证了镀制的可重复性。通过曲线测试和环境试验结果表明,该膜系满足设计使用要求。

Abstract

According to the operating requirements of ultraviolet reflector in the ultraviolet optical system,and with mercury lamp luminescent spectrum,the near ultraviolet broadband high reflectance design index of R>93%(300~450 nm) and Tavg>85%(500~1 000 nm) are presented.The refractive index,extinction coefficient and technological parameters of preparation of Ta2O5 and SiO2 coating materials are determined by orthogonal test,with Ta2O5 and SiO2 as high and low refractive index materials.Based on the regular periodic coating,the coating is optimally designed.Meanwhile,the sensitivity of the film is also analyzed to ensure the repeatability of coating.The results of curve test and environmental test show that the coating meets the design requirements.

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补充资料

中图分类号:O 484.5

DOI:10.3969/j.issn.1005-5630.2016.04.017

所属栏目:薄膜

基金项目:沈阳仪表科学研究院有限公司科研基金项目(Y1020-6101)

收稿日期:2015-09-07

修改稿日期:--

网络出版日期:--

作者单位    点击查看

姚春龙:沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁 沈阳110043沈阳工业大学 机械工程学院,辽宁 沈阳110870
宋光辉:沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁 沈阳110043
雷鹏:沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁 沈阳110043
王银河:沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁 沈阳110043
张新敏:沈阳工业大学 机械工程学院,辽宁 沈阳110870

联系人作者:姚春龙(challenge2002@126.com)

备注:姚春龙(1978—),男,高级工程师,主要从事光学薄膜方面的研究。

【1】复旦大学电光源实验室.电光源原理[M].上海:上海科学技术出版社,1979:2-3.

【2】姚春龙,王银河,张辉.近紫外冷反射镜的镀制研究[J].真空,2007,44(3):9-11.

【3】钟迪生.真空镀膜[M].沈阳:辽宁大学出版社,2001:216-221,245-252.

【4】张光勇,薛亦渝,郭培涛,等.电子束蒸发沉积Ta2O5光学薄膜的研究[J].压电与声光,2008,30(1):12-15.

【5】刘洪祥,熊胜明,李凌辉,等.离子束溅射沉积Ta2O5光学薄膜的实验研究[J].光电工程,2004,31(3):41-43,55.

【6】陈燕平,余飞鸿.薄膜厚度和光学常数的主要测试方法[J].光学仪器,2006,28(6):84-88.

【7】王胭脂,张伟丽,范正修,等.SiO2薄膜折射率的准确拟合分析[J].中国激光,2008,35(5):760-763.

【8】付秀华,张于帅,寇洋,等.智能眼镜影像系统宽光谱广角度分光膜的研制[J].光子学报,2015,44(3):0331002.

【9】付秀华,孙英杰,刘冬梅,等.可见与近红外宽带减反膜的研制[J].光学学报,2013,33(3):0331002.

引用该论文

YAO Chunlong,SONG Guanghui,LEI Peng,WANG Yinhe,ZHANG Xinmin. Optimization design and preparation of near ultraviolet broadband reflector coating[J]. Optical Instruments, 2016, 38(4): 372-376

姚春龙,宋光辉,雷鹏,王银河,张新敏. 近紫外区宽带反光镜的膜系优化设计与制备[J]. 光学仪器, 2016, 38(4): 372-376

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