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2 μm波段GaSb基亚波长光栅反射镜的设计

Design of 2 μm Waveband GaSb Based Subwavelength Grating Mirror

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摘要

研究了一种2 μm波段GaSb基亚波长光栅反射镜,讨论了亚波长光栅的各参数对反射谱的影响。对于中心波长为2 μm的TM模式,反射镜具有大宽带和极高的反射率,反射带宽与中心波长之比大于26%(反射率大于99%),波长为1.895~2.08 μm时,反射率达到99.9%以上,带宽达185 nm,同时TE模的反射率低于垂直腔面发射半导体激光器的激射条件(反射率小于95%)。该结构的各个参数所允许的制作容差较大,有利于在垂直腔面发射半导体激光器上的单片集成。

Abstract

A 2 μm waveband GaSb based subwavelength grating mirror is investigated, and the influence of subwavelength grating parameters on reflection spectrum is discussed. The mirror has a wide bandwidth and a high reflectivity with center wavelength of 2 μm in case of TM mode. The ratio of reflection bandwidth to central wavelength is more than 26% when the reflectivity is more than 99%. Especially, reflectivity of the mirror is more than 99.9% at the range of 1.895-2.08 μm, and the bandwidth is 185 nm, while the reflectivity in TE mode is lower than the lasing condition of the vertical cavity surface emitting laser (reflectivity is less than 95%). Each parameter of the structure has bigger fabrication tolerance, which facilitates monolithic integration of vertical cavity surface emitting laser.

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中图分类号:TN248.4

DOI:10.3788/lop54.070501

所属栏目:衍射与光栅

基金项目:国家自然科学基金(11474038,61376045,11474036)、总装预研究基金(9140C31010214C310003,61424050302162405002)

收稿日期:2017-01-11

修改稿日期:2017-02-03

网络出版日期:--

作者单位    点击查看

谢检来:长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
郝永芹:长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
王志伟:长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
王 霞:长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
晏长岭:长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
刘国军:长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
马晓辉:长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
李 杨:长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
岳光礼:长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
张 昕:长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022

联系人作者:谢检来(xiejianlai@163.com)

备注:谢检来(1992—),男,硕士研究生,主要从事半导体激光器物理与技术方面的研究。

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引用该论文

Xie Jianlai,Hao Yongqin,Wang Zhiwei,Wang Xia,Yan Changling,Liu Guojun,Ma Xiaohui,Li Yang,Yue Guangli,Zhang Xin. Design of 2 μm Waveband GaSb Based Subwavelength Grating Mirror[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2017, 54(7): 070501

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