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基于多齿谐振光栅的偏振无关宽带反射镜的研究

Study on Polarization Independent Broadband Reflector Based on Multi-Subpart Profile Resonant Grating

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摘要

主要探讨了一种基于多层多齿谐振光栅结构的高性能偏振无关反射镜。得益于TE和TM偏振光泄漏模谐振的共存及相互作用, 该器件在1.65~1.72 μm较宽的频谱范围内具有反射率大于97%、角度带宽约为24.6°、插入损耗小于0.25 dB、偏振相关损耗小于0.18 dB的优越性能。通过严格耦合波分析方法验证了此器件在现有工艺误差范围内具有较好的工艺容差性。

Abstract

A high-performance polarization independent reflector based on a multilayered grating structure with multi-subpart profile is discussed. Owing to the advantages of co-existence and interaction of TE polarization light and TM polarization light leaky modes, the proposed reflector can offer combined merits of high reflectivity (over 97%), wide angular bandwidth (about 24.6°), low insertion loss (below 0.25 dB) and low polarization dependent loss (below 0.18 dB) over a broadband spectrum of 1.65-1.72 μm. The rigorous coupled wave analysis method is used to verify the good process tolerance of the reflector in the existing process error range.

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中图分类号:O436.1

DOI:10.3788/aos201737.0913001

所属栏目:集成光学

基金项目:国家自然科学基金(11264031)、江西省自然科学基金(20151BAB207054,20114BAB201019)、江西省青年科学基金重大项目(20143ACB21011)、航空科学基金(20162856004)、无损检测技术教育部重点实验室基金(ZD201629004)、南昌航空大学研究生创新专项基金(YC2015042)

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吴华明1
2:南昌航空大学信息工程学院, 江西 南昌 330063
:南昌航空大学信息工程学院, 江西 南昌 330063
肖永生:无损检测与光电传感技术及应用国家地方联合工程实验室, 无损检测技术教育部重点实验室, 江西 南昌 330063江西省光电检测技术工程实验室, 南昌航空大学测试与光电工程学院, 江西 南昌 330063
黄丽贞:无损检测与光电传感技术及应用国家地方联合工程实验室, 无损检测技术教育部重点实验室, 江西 南昌 330063江西省光电检测技术工程实验室, 南昌航空大学测试与光电工程学院, 江西 南昌 330063
肖文波:无损检测与光电传感技术及应用国家地方联合工程实验室, 无损检测技术教育部重点实验室, 江西 南昌 330063江西省光电检测技术工程实验室, 南昌航空大学测试与光电工程学院, 江西 南昌 330063
段军红:无损检测与光电传感技术及应用国家地方联合工程实验室, 无损检测技术教育部重点实验室, 江西 南昌 330063江西省光电检测技术工程实验室, 南昌航空大学测试与光电工程学院, 江西 南昌 330063
徐欢欢:无损检测与光电传感技术及应用国家地方联合工程实验室, 无损检测技术教育部重点实验室, 江西 南昌 330063江西省光电检测技术工程实验室, 南昌航空大学测试与光电工程学院, 江西 南昌 330063
马林飞
刘宪爽

联系人作者:吴华明(Cookey106@126.com)

备注:吴华明(1975-), 男, 博士, 副教授, 主要从事微纳光电器件及集成方面的工作。

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引用该论文

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