中国激光, 2018, 45 (4): 0401012, 网络出版: 2018-04-13   

用于光谱控制的棱镜扩束装置精密装调特性分析 下载: 650次

Analysis on Precision Assembly Characteristics of Prism Expander Applied to Spectrum Control
王倩 1,2,3赵江山 1,2周翊 1,2,*
作者单位
1 中国科学院光电研究院, 北京 100094
2 北京市准分子激光工程技术研究中心, 北京 100094
3 中国科学院大学, 北京 100094
摘要
线宽压窄模块是光刻用准分子激光器的重要组成部分。线宽压窄模块中棱镜组及光栅的装配角度直接影响系统输出特性。为了进一步改进准分子激光器线宽压窄模块工程化安装与调试工艺,研究了棱镜扩束器中棱镜角度偏差对系统线宽及能量的影响。通过理论推导及实验验证,分析了单个棱镜角度偏转对准分子激光系统线宽及能量的影响,确定了每个棱镜的装调误差;实验结果与理论分析结果基本符合。根据确定的装调误差优化设计线宽压窄模块的装调方法,对模块的光谱控制工程化具有一定的指导意义。
Abstract
Linewidth narrowing module is an important component of excimer laser for lithography. The installation angles of prisms and gratings affect the system output characteristics directly. In order to improve installation and debugging technique of linewidth narrowing module, we study the influence of the angle deviation of the prism in the prism expander on the energy and linewidth of the system. Through the theoretical derivation and experimental verification, we analyze the influence of individual prism angle deflection on the energy and linewidth of the excimer laser system, and determine the alignment error of each prism. The experimental results are in good agreement with the theoretical analysis results. The alignment method for optimizing the linewidth narrowing module design according to the alignment error has guiding significance for the spectrum control engineering.

王倩, 赵江山, 周翊. 用于光谱控制的棱镜扩束装置精密装调特性分析[J]. 中国激光, 2018, 45(4): 0401012. Wang Qian, Zhao Jiangshan, Zhou Yi. Analysis on Precision Assembly Characteristics of Prism Expander Applied to Spectrum Control[J]. Chinese Journal of Lasers, 2018, 45(4): 0401012.

本文已被 1 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!