红外与毫米波学报, 2018, 37 (4): 389, 网络出版: 2019-01-10  

基于场效应晶体管的太赫兹探测器中天线设计的一种有效方法

An effective method for antenna design in field effect transistor terahertz detectors
作者单位
1 中国科学院半导体研究所 半导体集成技术工程研究中心, 北京 100083
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 波兰科学院 高压物理研究所, 波兰 华沙, PL01-142
4 先进材料与技术中心 中央实验室, 波兰 华沙, PL02-822
5 蒙彼利埃大学与法国国家科学研究院查尔斯·库伦实验室, 法国 蒙彼利埃, UMR 5221
6 中国科学院半导体研究所 超晶格实验室, 北京 100083
摘要
在场效应晶体管太赫兹探测器中, 合理的天线设计可以增强晶体管和太赫兹波之间的耦合效率, 从而提高太赫兹探测器的响应度.提出一种基于晶体管栅极边缘沟道电场的仿真来设计平面天线的方法.这种方法尤其适用于太赫兹波段晶体管输入阻抗不容易得到的情况.通过流片完成的基于氮化镓高电子迁移率晶体管的太赫兹探测器的响应度测试证实了这种方法的有效性.集成碟形天线和双偶极子天线的太赫兹探测器最大响应度分别在170.7 GHz (1568.4 V/W)和124.3 GHz (1047.2 V/W)频点处测得,这个测试结果接近基于晶体管栅极边缘沟道电场的仿真结果.
Abstract
In the implementation of field effect transistor (FET) terahertz (THz) detectors, the integration of properly designed planar antennas could effectively enhance the coupling efficiencies between the transistors and THz radiation, thus improving the responsivities of THz detectors. A method to design the planar antenna which is based on the simulation of channel electric field at the gate edge of FET is reported here. This method is suitable for the situation where the input impedances of FETs may not be conveniently obtained in the THz regime. The validity of this method in the antenna design is confirmed by the measurements of the fabricated GaN/AlGaN FET THz detectors. The maximum responsivities of the bowtie detector and the dual-dipole detector are obtained at 170 7 GHz (1568.4 V/W) and 124.3 GHz (1047.2 V/W) respectively, which are close to the simulation results of channel electric field at the gate edge of the bowtie detector and the dual-dipole detector.

张博文, 颜伟, 李兆峰, 白龙, Grzegorz Cywinski, Ivan Yahniuk, Krzesimir Szkudlarek, Czeslaw Skierbiszewski, Jacek Przybytek, Dmytro B. But, Dominique Coquillat, Wojciech Knap, 杨富华. 基于场效应晶体管的太赫兹探测器中天线设计的一种有效方法[J]. 红外与毫米波学报, 2018, 37(4): 389. ZHANG Bo-Wen, YAN Wei, LI Zhao-Feng, BAI Long, Grzegorz Cywinski, Ivan Yahniuk, Krzesimir Szkudlarek, Czeslaw Skierbiszewski, Jacek Przybytek, Dmytro B. But, Dominique Coquillat, Wojciech Knap, YANG Fu-Hua. An effective method for antenna design in field effect transistor terahertz detectors[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2018, 37(4): 389.

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