半导体光电, 2019, 40 (5): 671, 网络出版: 2019-11-05   

金刚石聚晶碳膜场发射的场增强特征研究

Field Enhancement Characteristics of Field Emission of Diamond Polycrystalline Carbon Films
作者单位
1 郑州师范学院 物理系, 郑州 450044
2 郑州大学 物理工程学院 材料物理教育部重点实验室, 郑州 450052
摘要
利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD), 在镀金属钛的纯平陶瓷衬底上制备出一层微米量级的类球状金刚石聚晶颗粒碳膜。通过拉曼光谱仪、X射线衍射仪分析了碳膜的成分, 通过扫描电子显微镜观察了碳膜的外部形貌。最后利用场发射的二级结构装置测试了碳膜的场发射性能。讨论了金刚石聚晶碳膜的场发射机理, 得出碳膜场发射性能优异的原因是金刚石聚晶碳膜表面存在强大的场增强现象。
Abstract
A layer of spherical diamond-like polycrystalline carbon film was prepared by microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD) on a flat ceramic substrate plated with titanium. The composition of the carbon film was analyzed by Raman spectrometer and X-ray diffractometer. Then the field emission performance was tested with the secondary structure of field emission device. And the field emission mechanism of diamond polycrystalline carbon film was discussed. The reason of excellent field emission performance is the strong field enhancement on the surface of diamond polycrystalline carbon film.

高金海, 李成刚, 张洁, 张兵临. 金刚石聚晶碳膜场发射的场增强特征研究[J]. 半导体光电, 2019, 40(5): 671. GAO Jinhai, LI Chenggang, ZHANG Jie, ZHANG Binglin. Field Enhancement Characteristics of Field Emission of Diamond Polycrystalline Carbon Films[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2019, 40(5): 671.

本文已被 1 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!