光学学报, 2020, 40 (17): 1736001, 网络出版: 2020-08-28   

基于低能离子轰击的亚波长纳米结构制备 下载: 935次

Preparation of Subwavelength Nanostructures Based on Low-Energy Ion Bombardment
作者单位
中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 安徽 合肥 230029
摘要
利用低能离子轰击在光刻胶表面诱导产生自组织纳米波纹结构,将其作为掩模,与反应离子束刻蚀技术相结合,在熔石英表面制备了亚波长纳米结构。与直接利用离子轰击产生的纳米结构相比,此方法制备的结构显著提高了自组织纳米结构的振幅和高宽比。这种具有表面亚波长纳米结构的熔石英样品在600~1300 nm波段范围内的透过率约为94%。初步结果显示离子轰击技术在功能性表面纳米结构制备方面极具潜力。
Abstract
In this study, self-organized nanoripples on photoresist surfaces are produced through low-energy ion bombardment (IB). Subsequently, the IB-induced photoresist nanoripples are considered as masks for fabricating subwavelength nanostructures on fused silica surfaces by reactive ion beam etching technique. Compared with pure-IB-induced fused silica nanoripples, the amplitude and aspect ratio of the proposed nanostructures increases significantly. The transmittance of the subwavelength nanostructured fused silica surfaces increases to approximately 94% for wavelengths from 600 nm to 1300 nm. Preliminary results reveal the potential of ion bombardment in the preparation of functional surface nanostructures.

杨高元, 蔡茂琦, 李金昱, 陈火耀, 刘颖, 洪义麟. 基于低能离子轰击的亚波长纳米结构制备[J]. 光学学报, 2020, 40(17): 1736001. Gaoyuan Yang, Maoqi Cai, Jinyu Li, Huoyao Chen, Ying Liu, Yilin Hong. Preparation of Subwavelength Nanostructures Based on Low-Energy Ion Bombardment[J]. Acta Optica Sinica, 2020, 40(17): 1736001.

本文已被 4 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!