多光束干涉飞秒激光转写周期微结构

赵全忠; 邱建荣; 姜雄伟; 赵崇军; 朱从善

激光与光电子学进展, 2005, 42 (12): 19, 网络出版: 2006-06-01

多光束干涉飞秒激光转写周期微结构

赵全忠邱建荣姜雄伟赵崇军朱从善

作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所光子技术实验室,上海 201800

飞秒激光微结构制备干涉

摘要

利用多光束飞秒激光干涉将周期微结构从镀有金属薄膜的支撑基体转写到另一接受基体上,同时在支撑基体的金属薄膜上形成了与接受基体上正负相反的周期微结构。同时光学及电子显微镜显示在支撑基体及接受基体上得到微米量级的周期结构。

Abstract

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赵全忠, 邱建荣, 姜雄伟, 赵崇军, 朱从善. 多光束干涉飞秒激光转写周期微结构[J]. 激光与光电子学进展, 2005, 42(12): 19. 赵全忠, 邱建荣, 姜雄伟, 赵崇军, 朱从善. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2005, 42(12): 19.