亚波长金属介质膜光栅的宽光谱消色差相位延迟器的设计

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光学学报

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2017年第37卷第2期1页

亚波长金属介质膜光栅的宽光谱消色差相位延迟器的设计

李娜 ¹孔伟金 ¹季淑英 ¹司维 ¹徐志恒 ¹车卫康 ¹云茂金 ²

录用时间：2016-08-30

论文栏目

衍射与光栅

作者单位

¹ 青岛大学物理科学学院

² 山东省青岛市青岛大学物理系

论文摘要

消色差相位延迟器可以在较宽光谱范围内实现所需要的相位延迟量，是偏振光调制的关键核心器件。本文基于严格耦合波理论和遗传算法，提出了一种夹层式亚波长金属介质膜光栅消色差相位延迟器的设计方法，设计了一种在红外光900~1200nm波段范围内的消色差1/4相位延迟器，其相位延迟量在 90° 的范围内最大偏差小于 2.3%。通过数值分析表明，所设计的消色差相位延迟器对槽深和入射角具有较大的工艺容差。该消色差相位延迟器设计简单，性能稳定，具有重要的应用价值。

消色差位相延迟器亚波长金属介质膜光栅严格耦合波理论遗传算法衍射

引用本文

李娜, 孔伟金, 季淑英, 司维, 徐志恒, 车卫康, 云茂金. 亚波长金属介质膜光栅的宽光谱消色差相位延迟器的设计[J]. 光学学报, 2017, 37(2): 1.

DOI：10.3788/aos201737.02衍射与光栅01

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