量子光学

上海光机所

一种基于振镜扫描方式的大口径光学元件表面损伤检测的方法，振镜作为一种二维扫描器件，可以实现光学元件表面不同位置处在CCD相机上的成像，利用振镜扫描方式可以无需移动待检测光学元件和成像系统来完成大口径光学元件表面损伤的扫描检测。利用该方法对光学元件表面损伤点检测进行验证实验，通过在元件表面设置基准点，利用振镜扫描步数及图像处理技术确定损伤点位置及尺寸，并与光学显微镜观察的损伤情况进行对比。该检测系统分辨率可达到2.08±0.015μm/pixel，检测范围大于2.5cm，水平方向和竖直方向位置坐标检测准确度分别为3.76%和1.37%，损伤点尺寸检测准确度为6.19%，能够实现较大尺寸光学元件表面损伤点的高准确性检测。

郭亚晶, 唐顺兴, 姜秀青, 朱宝强, 林尊琪. 基于振镜扫描方式的光学元件表面损伤检测[J]. 中国激光, 2017, 37(6): 3.  复制并引用该论文