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硒化锌衬底表面仿生宽带增透微结构的设计及制作

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摘要

采用时域有限差分法研究了中红外波段硒化锌基底的抛物线形周期阵列仿生微结构的衍射特性,重点分析了微结构阵列的周期、高度、占空比和形状轮廓等因素对增透特性的影响,得出具有较好增透效果的结构参数。根据模拟参数进行两次干涉曝光制备掩膜,使用反应离子刻蚀技术制备该周期阵列微结构。通过场发射扫描电子显微镜对微结构表面形貌进行表征,并应用傅里叶变换红外光谱仪在中红外波段分别对双面抛光、单面微结构的硒化锌片进行透过率测试,结果单面微结构样品在2-5μm范围整体平均透过率比双面抛光硒化锌基片提高10%,峰值透过率达82%,接近理论最大值。

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DOI:10.3788/aos201838.0105004

作者单位:

    上海光机所

引用该论文

费亮,崔云,万冬云,陈鹏,徐姣. 硒化锌衬底表面仿生宽带增透微结构的设计及制作[J].光学学报,2018,38(1):0105004.