THz波段金属阵列透射及反射宽谱偏振特性研究

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光学学报

ESCI,EI,SCOPUS,CJCR,CSCD,北图

2018年第38卷第5期1页

THz波段金属阵列透射及反射宽谱偏振特性研究

沈云 ¹汪涛 ²汪云 ³邓晓华 ¹曹俊诚 ⁴谭智勇 ⁵邹林儿 ⁶代国红 ¹

录用时间：2017-09-29

网络首发时间：2017-12-08

论文栏目

集成光学

作者单位

¹ 南昌大学物理系

² 南昌大学物理学系

³ 南昌大学空间科学与技术研究院

⁴ 中科院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室

⁵ 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

⁶ 南昌大学物理学系

论文摘要

基于CST对二维金属光栅阵列结构在0.1-10 THz波段的偏振特性进行了数值分析，利用光刻和金属薄膜工艺在500μm厚的高阻硅衬底上沉积了厚度为20 nm的不同结构周期的金属铜光栅阵列，利用Bruker公司VERTEx80v型傅里叶变换光谱仪测量了光栅阵列结构的透射及反射特性。结果表明，光栅阵列结构在THz波段宽谱范围内其透射和反射光都具有良好偏振特性，其偏振范围可通过调整结构周期进行调整。该研究对THz偏振器的进一步研究及应用提供了参考。

偏振 THz 宽谱反射

引用本文

沈云, 汪涛, 汪云, 邓晓华, 曹俊诚, 谭智勇, 邹林儿, 代国红. THz波段金属阵列透射及反射宽谱偏振特性研究[J]. 光学学报, 2018, 38(5): 1.

DOI：10.3788/aos201838.05集成光学01

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