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表面改性多孔二氧化硅减反膜稳定性研究

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摘要

以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,采用溶胶凝胶法制备SiO2溶胶,通过提拉法涂制多孔 SiO2减反膜,并在多孔SiO2减反膜上涂制一层甲基三乙氧基硅烷(MTES)预聚体。通过疏水的MTES预聚体涂制在多孔SiO2减反膜上,对多孔SiO2减反膜表面进行改性,以提高膜层的环境稳定性。经过表面改性的复合膜层透过率峰值达99.67%,折射率为1.231,水接触角达到123.6°,在相对湿度95%的环境中存放475天后膜层的峰值透过率99.09%,稳定性提高明显。膜层表面平整,激光损伤阈值约为24.5J/cm2。

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补充资料

DOI:10.3788/aos201939.0831001

作者单位:

    中国科学院上海光学精密机械研究所
    本所(联合室)
    上海光机所高功率激光单元技术研发中心
    中国科学院上海光学精密机械研究所
    本所(联合室)

引用该论文

熊怀,唐永兴,胡丽丽,沈斌,李海元. 表面改性多孔二氧化硅减反膜稳定性研究[J].光学学报,2019,39(08):0831001.