沉积温度对LaF3薄膜性能的影响

余华; 崔云; 申雁鸣; 齐红基; 邵建达; 范正修

强激光与粒子束, 2007, 19 (9): 1507, 网络出版: 2008-02-18

沉积温度对LaF3薄膜性能的影响

Influence of deposition temperature on properties of LaF3 coating

余华 ^1,2崔云 ^1,2申雁鸣 ^1,2齐红基 ¹邵建达 ¹范正修 ¹

作者单位

¹ 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800

² 中国科学院,研究生院,北京,100049

基本信息

DOI:	--
中图分类号:	O484.4
栏目:	ICF与激光等离子体
项目基金:	国家自然科学基金资助课题(60678004)
收稿日期:	2007-03-02
修改稿日期:	2007-07-28
网络出版日期:	2008-02-18
通讯作者:
备注:	--

余华, 崔云, 申雁鸣, 齐红基, 邵建达, 范正修. 沉积温度对LaF3薄膜性能的影响[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(9): 1507. 余华, 崔云, 申雁鸣, 齐红基, 邵建达, 范正修. Influence of deposition temperature on properties of LaF3 coating[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(9): 1507.