光学 精密工程, 2016, 24 (11): 2699, 网络出版: 2016-12-26   

光电编码器误差检测转台的动态精度标定

Calibration of dynamic precision for measurement platform of photoelectric encoder
作者单位
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
引用该论文

于海, 万秋华, 卢新然, 赵长海, 梁立辉. 光电编码器误差检测转台的动态精度标定[J]. 光学 精密工程, 2016, 24(11): 2699.

YU Hai, WAN Qiu-hua, LU Xin-ran, ZHAO Chang-hai, LIANG Li-hui. Calibration of dynamic precision for measurement platform of photoelectric encoder[J]. Optics and Precision Engineering, 2016, 24(11): 2699.

引用列表
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5、 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统光学 精密工程, 2017, 25 (11): 2810

于海, 万秋华, 卢新然, 赵长海, 梁立辉. 光电编码器误差检测转台的动态精度标定[J]. 光学 精密工程, 2016, 24(11): 2699. YU Hai, WAN Qiu-hua, LU Xin-ran, ZHAO Chang-hai, LIANG Li-hui. Calibration of dynamic precision for measurement platform of photoelectric encoder[J]. Optics and Precision Engineering, 2016, 24(11): 2699.

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