硅微陀螺仪零偏稳定性的优化

赵阳; 裘安萍; 施芹; 夏国明; 赵健

doi:doi:10.3788/ope.20142209.2381

光学精密工程, 2014, 22 (9): 2381, 网络出版: 2014-10-23

硅微陀螺仪零偏稳定性的优化

Optimization of bias stability for silicon microgyroscope

赵阳 ^*裘安萍施芹夏国明赵健

作者单位

南京理工大学 MEMS惯性技术研究中心, 江苏南京 210094

补充材料

赵阳, 裘安萍, 施芹, 夏国明, 赵健. 硅微陀螺仪零偏稳定性的优化[J]. 光学精密工程, 2014, 22(9): 2381. ZHAO Yang, QIU An-ping, SHI Qin, XIA Guo-ming, ZHAO Jian. Optimization of bias stability for silicon microgyroscope[J]. Optics and Precision Engineering, 2014, 22(9): 2381.