光学学报, 2014, 34 (s1): s104001, 网络出版: 2014-08-18   

金属-半导体-金属结构AlGaN/GaN异质结紫外探测器技术及特性

Technology and Performance of Metal-Semiconductor-Metal AlGaN/GaN Heterostructure Ultraviolet Photodetector
作者单位
1 中国电子科技集团公司第四十一研究所, 山东 青岛 266555
2 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所, 江苏 苏州 215123
3 中国科学院纳米器件与应用重点实验室, 江苏 苏州 215123
4 电子测试技术重点实验室, 山东 青岛 266555
基本信息
DOI: 10.3788/aos201434.s104001
中图分类号: TN23;TN364+.2
栏目: 探测器
项目基金: 国家自然科学基金(10990102)、“十二五”计量技术基础科研项目(J312013A001)
收稿日期: 2013-12-16
修改稿日期: 2014-02-18
网络出版日期: 2014-08-18
通讯作者: 杨乐臣 (yanglechen@163.com)
备注: --

杨乐臣, 付凯, 史学舜, 陈坤峰, 李立功, 张宝顺. 金属-半导体-金属结构AlGaN/GaN异质结紫外探测器技术及特性[J]. 光学学报, 2014, 34(s1): s104001. Yang Lechen, Fu Kai, Shi Xueshun, Chen Kunfeng, Li Ligong, Zhang Baoshun. Technology and Performance of Metal-Semiconductor-Metal AlGaN/GaN Heterostructure Ultraviolet Photodetector[J]. Acta Optica Sinica, 2014, 34(s1): s104001.

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