光学 精密工程, 2018, 26 (11): 2723, 网络出版: 2019-01-10
氮化硅陶瓷水射流辅助激光精密加工
Water-jet assisted laser precision processing of Si3N4 ceramics
基本信息
DOI: | 10.3788/ope.20182611.2723 |
中图分类号: | TG665 |
栏目: | 微纳技术与精密机械 |
项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.511752290)、 安徽省自然科学基金资助项目(No.1208085ME79) |
收稿日期: | 2018-05-09 |
修改稿日期: | 2018-06-11 |
网络出版日期: | 2019-01-10 |
通讯作者: | 姚燕生 (y.ys@163.com) |
备注: | -- |
姚燕生, 陈庆波, 汪俊, 陈雪辉, 袁根福. 氮化硅陶瓷水射流辅助激光精密加工[J]. 光学 精密工程, 2018, 26(11): 2723. YAO Yan-sheng, CHEN Qing-bo, WANG Jun, CHEN Xue-hui, YUAN Gen-fu. Water-jet assisted laser precision processing of Si3N4 ceramics[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(11): 2723.