光学 精密工程, 2018, 26 (11): 2723, 网络出版: 2019-01-10   

氮化硅陶瓷水射流辅助激光精密加工

Water-jet assisted laser precision processing of Si3N4 ceramics
作者单位
1 安徽建筑大学 机械与电气工程学院, 安徽 合肥 230022
2 江南大学 机械工程学院, 江苏 无锡 214122
基本信息
DOI: 10.3788/ope.20182611.2723
中图分类号: TG665
栏目: 微纳技术与精密机械
项目基金: 国家自然科学基金资助项目(No.511752290)、 安徽省自然科学基金资助项目(No.1208085ME79)
收稿日期: 2018-05-09
修改稿日期: 2018-06-11
网络出版日期: 2019-01-10
通讯作者: 姚燕生 (y.ys@163.com)
备注: --

姚燕生, 陈庆波, 汪俊, 陈雪辉, 袁根福. 氮化硅陶瓷水射流辅助激光精密加工[J]. 光学 精密工程, 2018, 26(11): 2723. YAO Yan-sheng, CHEN Qing-bo, WANG Jun, CHEN Xue-hui, YUAN Gen-fu. Water-jet assisted laser precision processing of Si3N4 ceramics[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(11): 2723.

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