半导体光电, 2018, 39 (1): 42, 网络出版: 2018-08-30
基于SMIC 0.13μm CIS工艺的单光子TOF传感器像素设计
A Single-Photon TOF Sensor Pixel Based on SMIC 0.13μm CIS Technology
基本信息
| DOI: | 10.16818/j.issn1001-5868.2018.01.009 |
| 中图分类号: | TN36 |
| 栏目: | 光电器件 |
| 项目基金: | -- |
| 收稿日期: | 2017-06-11 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2018-08-30 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
谢刚, 徐渊, 张子龙, 廉德亮, 刘诗琪, 王成瑾. 基于SMIC 0.13μm CIS工艺的单光子TOF传感器像素设计[J]. 半导体光电, 2018, 39(1): 42. XIE Gang, XU Yuan, ZHANG Zilong, LIAN Deliang, LIU Shiqi, WANG Chengjin. A Single-Photon TOF Sensor Pixel Based on SMIC 0.13μm CIS Technology[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2018, 39(1): 42.
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