光学学报, 2020, 40 (5): 0514003, 网络出版: 2020-03-10   

近红外激光二氧化碳传感系统的研制及应用 下载: 1479次

Development and Application of Near-Infrared Laser Carbon Dioxide Gas Sensor System
作者单位
1 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室, 吉林 长春 130012
2 吉林省红外气体传感技术工程研究中心, 吉林 长春 130012
摘要
采用可调谐激光二极管吸收光谱技术,研制了一种近红外激光二氧化碳(CO2)传感系统。该系统包含中心波长为1572 nm的分布反馈激光器、密集光斑型气室和铟镓砷探测器,利用LabVIEW程序提取二次谐波信号幅值并反演了CO2浓度。为了表征传感器性能,利用该系统开展了气体检测实验。结果显示,当调制深度为0.32 cm -1时,二次谐波信号的幅值最大;在体积分数为0~3%范围内,二次谐波信号的幅值与CO2浓度具有较高的线性度(拟合优度为0.999);当CO2体积分数为0时,连续测试1 h,反演得到的浓度波动范围为-2×10 -4~1.17×10 -4;当积分时间为297 s时,系统的灵敏度检测下限为2.7×10 -6;考虑动态配气时气体的扩散时间,系统的响应时间为40~42 s;连续15 h测量室内大气中CO2浓度,测得的CO2平均体积分数约为(560±46)×10 -6。与已经报道的传感器相比,该气体传感系统呈现出类似的品质因数,可在工农业生产、环境保护等领域得到一定的推广和应用。
Abstract
A near-infrared laser carbon dioxide (CO2) sensor system is developed using tunable diode laser absorption spectroscopy (TDLAS). The system consists of a distributed feedback laser with a central wavelength of 1572 nm, a dense spot-type gas chamber, and an indium gallium arsenic detector. LabVIEW program is used to extract the amplitude of the second harmonic signal and the CO2 concentration is inverted. In order to characterize the sensor performance, gas detection experiments are carried out by using the system. The results show that,when the modulation depth is 0.32 cm -1, the amplitude of the extracted second harmonic signal is the largest. In the volume fraction range of 0-3%, the amplitude of the second harmonic signal has a high linearity with the CO2 concentration (the goodness of fit is 0.999). When the volume fraction of CO2 is 0, the retrieved concentration fluctuation range is -2×10 -4-1.17×10 -4 after continuous test for 1 h. When the integral time is 297 s, the lower limit of sensitivity detection of the system is 2.7×10 -6. Considering the gas diffusion time during dynamic gas distribution, the response time of the system is 40-42 s. The CO2 concentration in the atmosphere is measured continuously for 15 h, and the average CO2 volume fraction measured is about (560±46)×10 -6. Compared with the reported sensors, the gas sensing system presents similar quality factors and can be popularized and applied in industrial and agricultural production, environmental protection and other fields.

1 引言

二氧化碳(CO2)气体浓度的实时监测和控制在环境保护、工农业生产等方面得到越来越多的应用[1]。造成温室效应的主要因素是传统化石能源燃烧所排放的CO2气体,温室效应对环境和气候变化的影响越来越明显,如加剧海平面的上升、造成气候反常[2]。CO2是植物光合作用的主要原料,光合速率与CO2的浓度呈一定的关系,实时监测和控制CO2气体浓度能保证植物以理想的光合速率生长,提高质量和产量[3]。另外,工业生产中也会大量排放CO2气体,需要对其进行实时监测并减少排放量。因此,监测与控制CO2气体浓度不仅在环境保护方面起到积极作用,还在工农业生产方面意义深远[4]。研制一种稳定性好、精确度高、响应时间短的CO2传感系统具有重要的研究意义和实际应用价值[5]

目前,检测CO2气体的传感器主要是有气相色谱法传感器、催化燃烧传感器、半导体传感器、固体电解质传感器、电化学传感器等。相对于这些传感器,红外气体传感器因其选择性好、测量精度高、响应时间短等特点得到了越来越多的应用[6]。近年来,随着红外气体传感领域的发展,相关传感器的研制和开发取得了显著的成果[7]。一种用于测量燃烧流中H2O、CO2、CO和温度的四色单端中红外可调激光吸收传感器结构被提出,这是在燃烧流中使用单端结构中红外激光吸收传感器的首次演示[8]。2019年,一种新型非分散红外CO2检测热释电装置被提出[9]。虽然国内对红外传感器的研究起步较晚,但也得到了一定的发展。吴涛等[10]提出一种基于2.73 μm分布反馈式激光器的呼出气体检测装置,用于临床呼出气体中CO2和水汽的检测,该装置在临床上具有良好的应用前景。蒋利军等[11]基于可调谐半导体激光吸收光谱技术, 研制了一套近红外波段的乙炔气体检测系统, 该装置采用波长调制-多光程吸收光谱技术, 提高了系统的检测灵敏度,在工业现场检测方面具有良好的应用前景。Liu等[12]开发了一种用于检测海水溶解CO2的中红外传感器系统,该传感器系统在深海天然气水合物勘探中具有潜在应用。

因此,红外气体检测技术不论是在工业生产还是在替代传统气体检测技术方面都具有明显的优势。鉴于此,基于红外吸收光谱原理,采用可调谐激光二极管吸收光谱技术(TDLAS)设计了一种近红外激光CO2检测系统。选择合适的CO2气体吸收线,利用分布反馈(DFB)激光器的波长可调谐特性,调节激光器中心波长使其扫过CO2气体吸收峰[13]。选用小型密集光斑型气室减小系统的体积,激光器发出的光束在气室中经过多次反射,与待测气体相互作用,最后会聚到铟镓砷探测器以实施探测。优化光路结构及调制深度以获得最佳的传感性能,并开展气体实验,研究传感器性能。

2 传感器系统的设计与优化

2.1 系统结构设计

所设计的近红外激光CO2传感系统结构如图1所示,主要包括光学部分和电学部分。在光学部分中,CO2气体分子在1572 nm处具有吸收特性,以此作为气体吸收的中心波长;采用中心波长为1572 nm的分布反馈激光器作为光源,激光器发出的红外光通过入射光纤被准直并耦合进密集光斑型气室;所用气室为赫里奥特气室,物理尺寸为290 mm×90 mm×80 mm,有效光程为16 m,气室的自身损耗(包括耦合损耗以及多次反射损耗)为10 dB,工作温度范围为0~40 ℃;出射光束被抛物聚光镜会聚并耦合进入出射光纤,最后会聚到铟镓砷探测器,探测器再把光信号转换为电信号输出到数据采集卡。在电学部分中,使用集成有温度控制器和电流驱动器的紧凑型激光驱动器来稳定激光器温度并为激光器提供电流,用LabVIEW产生5 Hz的锯齿波并叠加5 kHz的正弦波控制数据采集卡产生激光器的驱动信号和扫描信号[14],探测器输出的电信号通过数据采集卡后被送入到含LabVIEW程序的计算机中,然后用正交锁相放大的方法来提取二次谐波信号并存储其峰值[15]

2.2 CO2吸收线的选择

CO2分子在近红外波段的吸收线强度非常弱, 整个实验过程中要考虑避免其他分子(如H2O)的吸收干扰[16]。依据 HITRAN数据库,选择1572 nm附近相对吸收较强的吸收线:波数为6359.96 cm-1(线强为1.77×10-23 cm·molecular-1)[16-17],如图2(a)所示。由图2(b)可以看出,在光学长度为16 m,温度为25 ℃,1个大气压条件下,体积分数为2×10-2的H2O的吸收强度远远低于体积分数为5000×10-6的CO2的吸收强度,对CO2的检测没有影响,因此可以忽略。激光器的中心波长为6359.96 cm-1,选择其波长扫描范围为6359.2~6360.7 cm-1,吸收线的宽度为0.15 cm-1,由图2(b)可以确定驱动电流的范围为38~81 mA。

图 1. 近红外激光CO2传感系统结构示意图

Fig. 1. Schematic of near-infrared CO2 sensor system

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图 2. CO2吸收线的选择。(a) CO2的吸收光谱曲线;(b) CO2和H2O的吸光度,以及工作温度为28 ℃时发射波数和驱动电流的关系曲线

Fig. 2. Selection of CO2 absorption line. (a) Absorption spectra of CO2; (b) absorbance of CO2 and H2O, and driver current as a function of laser emission wavenumber at operation temperature of 28 ℃

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2.3 调制深度的优化

在理论上,调制深度为所选吸收线半峰全宽的1.1倍才能达到一个最大的谐波信号幅值(定义为气体吸收峰处二次谐波信号与基线信号的差值),为了获得最佳的传感性能,应确定一个合适的调制深度[17]。如图3所示,为了增加二次谐波信号的信噪比,将体积分数为2×10-3CO2气体通入气室中,然后提取二次谐波信号幅值。调制深度决定了二次谐波信号的幅值,通过优化调制深度,可以获得最大的幅值,在该幅值处的调制深度即为最优调制深度。本文采用的采集卡的量程为±10 V,应用该采集卡对电压范围为200~300 mV的探测器输出的吸收信号进行采样。针对采集得到的吸收信号,利用LabVIEW进行锁相放大处理,最终得到二次谐波信号,并计算其幅值。从图3可以看出,当调制深度为0.32 cm-1时,二次谐波信号幅值最大,则最优的调制深度为0.32 cm-1,此时,最大谐波信号幅度是0.00041 V。需要说明的是,本文得到的0.00041 V是LabVIEW程序对吸收信号进行锁相放大等处理后得到的原始数值,该数据处理结果可能与实际值存在差异。通过设定正弦波调制信号的幅值,即可得到此最优调制深度;根据激光器电压-电流-波数的换算关系,可以得到正弦波调制信号的幅值为0.46 V。

图 3. CO2体积分数为2×10-3时调制深度和二次谐波信号幅值的关系曲线

Fig. 3. Relationship between modulation depth and amplitude of second harmonic signal at CO2 volume fraction of 2×10-3

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3 系统性能测试

3.1 CO2气体标定实验

利用Environics公司的Series4000配气系统,采用动态配气法配置了体积分数分别为0,0.2×10-3,0.5×10-3,0.800×10-3,1.2×10-3,1.6×10-3,2×10-3,2.5×10-3和3×10-3的CO2,将其依次通入气室中,利用正交锁相技术提取二次谐波信号的幅值,每种浓度的气体测试5 min,测试结果如图4所示。

图 4. 不同浓度CO2气体下提取的二次谐波信号幅值与时间的关系图

Fig. 4. Relationship between amplitude of second harmonic signal and measurement time for different CO2 concentration

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对每种浓度气体样品的二次谐波信号幅值进行平均处理,如图5所示,拟合出二次谐波信号幅值Amp(2f)和气体浓度C(10-6)之间的关系,得到的拟合关系式为

AAmp(2f)=1.95802×10-4C+0.03561,(1)

式中:AAmp(2f)为二次谐波信号幅值。拟合优度R2=0.999。

图 5. 二次谐波信号幅值与气体体积分数的拟合关系曲线

Fig. 5. Fitting curve between volume fraction of gas and amplitude of second harmonic signal

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3.2 稳定性测试及艾伦方差

稳定性主要是反映传感器在一段时间内保持性能参数的能力[18]。为了测试该传感系统的稳定性,向气室中通入体积分数为0的CO2气体(即纯氮气),这样可以减小配气产生的系统浓度波动,另外可利用氮气环境下传感器的输出结果来预测系统的检测下限。系统采样时间设置为1 s,用正交锁相的方法提取二次谐波信号的幅值,并根据(1)式将二次谐波的幅值转换为气体的浓度值,连续测试1 h。从图6结果可以看出,在CO2体积分数为0时,测试的浓度波动范围为-2×10-4~1.17×10-4

图 6. CO2体积分数为0时反演结果随时间的变化曲线

Fig. 6. Retrieved result versus time when volume fraction of CO2 is 0

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为了进一步分析系统的稳定性,引入了艾伦方差。艾伦方差不仅是检测系统稳定性的重要指标,同时也可以预测系统的检测下限[18-19]。由图7可以看出,积分时间为1 s时,艾伦方差为1916.5×10-12,检测系统的灵敏度检测下限为43.8×10-6。随着积分时间的增加,系统的稳定性更好,检测下限降低,当积分时间等于297 s时,系统的最低灵敏度检测下限为2.7×10-6。这是因为增加积分时间可以有效降低高斯噪声,进而降低检测下限并提高系统稳定性。

图 7. 近红外CO2传感器的Allan标准差曲线

Fig. 7. Allan deviation curve of near-infrared CO2 sensor

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3.3 响应时间测试

一般把实际测试时间的10%~90%定义为系统的响应时间,该时间取决于气室结构、气体流速和处理器处理数据的速度[19]。为了测试系统的响应时间,采用动态配气的方法依次向气室中通入0、0.5×10-3,1.5×10-3,1×10-3,0的CO2气体样品,气体流速为1800 mL·min-1,检测结果稳定后均保持300 s。实验结果如图8所示,可以看出,系统的响应时间t为40~42 s。实际测得的响应时间包含了配气系统的时间,同时由于配气过程(从配气开始到稳定输出)较长,传感器响应时间变长。

图 8. 测得的传感器响应时间曲线

Fig. 8. Measured response time curve of sensor

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3.4 误差来源及分析

传感器的测量精度主要取决于采集的误差,该误差与探测器的输出信号幅值范围、采集卡量程、分辨率有关。探测器输出的吸收信号的幅值范围为200~300 mV。本文采集卡的量程为±10 V、分辨率为16位。若想降低采集卡误差对检测性能的影响,可行的办法是对探测器输出信号进行调整,使其幅值范围与采集卡量程相匹配,此时可最大程度地降低采样误差,提高分辨率。若增大气体浓度测量范围,由于气体浓度增大,仅吸收峰处探测器输出信号下降,而吸收信号的幅度范围不会受影响,即在利用该采集卡采样时,并不能改变采集卡的误差,从而并不能从根本上提高测量精度。

3.5 对比分析

通过与已经报道的近红外CO2传感器作对比,可以评估本文中传感器的性能。定义品质因数(FOM)=灵敏度(σ)×光程(L)。对比结果如表1所示。本文气体传感器的品质因数为700.80×10-6 m。Asakawa等[20]报道的近红外CO2传感器在光程为29.91 m时系统的灵敏度为26×10-6。 Li等[21]报道的近红外CO2传感器在光程为55.1 m时的灵敏度为7.5×10-6。通过对比可以看出,本文报道的传感器具有类似的品质因数。

表 1. 三个近红外CO2传感器的性能比较

Table 1. Performances of three near-infrared CO2 sensors

Sensorσ /10-6L /mFOM /(10-6 m)
Sensor in Ref. [20]26.029.91777.66
Sensor in Ref. [21]7.555.10413.25
Proposed sensor43.816.00700.80

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4 大气CO2浓度测量

在实验室环境下,利用该近红外激光CO2传感系统,从第一天晚上19:00到第二天上午10:00连续15 h观测了大气中CO2浓度,如图9所示。在19:00—22:00期间,由于晚上实验室人员较多,观测的CO2浓度值较高,在22:00—10:00实验室人员较少,观测值趋于平稳,然后在02:00左右对着气室的入气口人工吹气,在吹气之前考虑到水汽、吹气不稳等因素,在入气口前加了一个干燥管,防止水汽冷凝到镜片影响光路。此时观测的CO2体积分数增大到5×10-2,最后测得的CO2平均体积分数约为(560±46)×10-6。在未来的研究工作中,为了提升大气CO2浓度的检测精度,针对该近红外CO2传感系统,可以进一步降低光学噪声、增大光程;或者研制中红外激光CO2传感器,利用CO2在中红外波段更强的吸收特性,提高灵敏度。

图 9. 实验室环境下观测到的CO2浓度值

Fig. 9. Observed CO2 concentration in laboratory environment

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5 结论

根据CO2 气体分子在近红外波段的吸收特性,利用DFB激光器和密集光斑型气室研制了一种近红外激光CO2 传感系统。利用该系统开展了CO2气体实验,实验结果表明:当调制深度为0.32 cm-1时,提取的二次谐波信号的幅值最大为0.00041 V;在0~3000×10-6体积分数范围内,二次谐波信号的幅值与CO2气体浓度具有较高的线性度(拟合优度为0.999);当CO2体积分数为0时,连续测试1 h的浓度波动范围为-2×10-4~1.17×10-4;当积分时间为297 s时,系统的灵敏度检测下限为2.7×10-6;考虑动态配气时气体的扩散时间,系统的响应时间为40~42 s;利用该气体检测系统在实验室环境下连续15 h测量大气中的CO2浓度,测量的CO2平均体积分数约为(560±46)×10-6。与已经报道的传感器相比,该气体传感系统呈现出类似的品质因数,且已经初步应用于室内大气CO2浓度检测。在未来研究工作中,可对该传感器系统进行适当的工业化设计,使其能应用于工农业生产、环境保护等领域。

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