皮秒激光微纳加工研究进展

杨冬冬; 蔡京辉

doi:doi:10.3788/lop54.010004

激光与光电子学进展, 2017, 54 (1): 010004, 网络出版: 2017-01-17

皮秒激光微纳加工研究进展下载： 677次

Research Progress of Micro-Nano Fabrication by Picosecond Laser

杨冬冬 ^*蔡京辉

作者单位

中国科学院理化技术研究所空间功热转换技术重点实验室, 北京 100190

基本信息

DOI:	10.3788/lop54.010004
中图分类号:	TG485
栏目:	综述
项目基金:	国家863计划(2011AA12A103)
收稿日期:	2016-08-10
修改稿日期:	2016-09-29
网络出版日期:	2017-01-17
通讯作者:	杨冬冬 (13716988751@139.com)
备注:	--

杨冬冬, 蔡京辉. 皮秒激光微纳加工研究进展[J]. 激光与光电子学进展, 2017, 54(1): 010004. Yang Dongdong, Cai Jinghui. Research Progress of Micro-Nano Fabrication by Picosecond Laser[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2017, 54(1): 010004.