光学学报, 2011, 31 (11): 1114001, 网络出版: 2011-10-17
激光会聚铬原子光栅三维特性分析
Properties of 3D Nanostructures Fabricated by Laser-Focused Cr Atomic Deposition
激光光学 原子光刻 纳米计量 激光驻波场 蒙特卡罗方法 laser optics atom lithography nanometrology standing wave light field Monte-Carlo method
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