基于Zernike正交矩的亚像素图像线宽测量算法

秦垚; 王伯雄; 罗秀芝

光学技术, 2012, 38 (6): 729, 网络出版: 2012-12-14

基于Zernike正交矩的亚像素图像线宽测量算法

Measurement algorithm for sub-pixel line width in images based on Zernike moment

秦垚 ^*王伯雄罗秀芝

作者单位

清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084

补充材料

秦垚, 王伯雄, 罗秀芝. 基于Zernike正交矩的亚像素图像线宽测量算法[J]. 光学技术, 2012, 38(6): 729. Qin Yao, Wang Boxiong, Luo Xiuzhi. Measurement algorithm for sub-pixel line width in images based on Zernike moment[J]. Optical Technique, 2012, 38(6): 729.