压电倾斜镜迟滞非线性建模及逆补偿控制 | 光电工程 -- 中国光学期刊网

光电工程, 2020, 47 (4): 180654, 网络出版: 2020-05-27

压电倾斜镜迟滞非线性建模及逆补偿控制

Modeling and inverse compensation control of hysteresis nonlinear characteristics of piezoelectric steering mirror

刘鑫 ^1,2,3李新阳 ^1,2,*杜睿 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院自适应光学重点实验室，四川成都 610209

² 中国科学院光电技术研究所，四川成都 610209

³ 中国科学院大学，北京 100049

自适应光学压电倾斜镜迟滞效应神经网络迟滞算子 adaptive optics piezoelectric steering mirror hysteresis neural network hysteresis operator

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