光谱学与光谱分析, 2013, 33 (1): 159, 网络出版: 2013-02-04  

金属杂质粒子诱导薄膜的损伤机理研究

The Mechanism of Laser Induced Damage to Film by Metal Impurity Particle
作者单位
1 河南工程学院电气信息工程系, 河南 郑州451191
2 四川大学电子信息学院, 四川 成都610065
基本信息
DOI: 10.3964/j.issn.1000-0593(2013)01-0159-04
中图分类号: O539, TN244
栏目:
项目基金: 国家自然科学基金重大项目(60890203)和国家自然科学基金面上项目(10976017)资助
收稿日期: 2012-06-26
修改稿日期: 2012-09-20
网络出版日期: 2013-02-04
通讯作者: 张秋慧 (newyear1234@163.com)
备注: --

张秋慧, 冯国英, 李娜, 韩敬华. 金属杂质粒子诱导薄膜的损伤机理研究[J]. 光谱学与光谱分析, 2013, 33(1): 159. ZHANG Qiu-hui, FENG Guo-ying, LI Na, HAN Jing-hua. The Mechanism of Laser Induced Damage to Film by Metal Impurity Particle[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2013, 33(1): 159.

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