空气洁净度对点源透射比测试准确度的影响

曹智睿; 付跃刚; 田浩

doi:doi:10.3788/gzxb20164501.0112002

光子学报, 2016, 45 (1): 0112002, 网络出版: 2016-03-22

空气洁净度对点源透射比测试准确度的影响

The Impact for the Air Cleanliness to the Precision of PST Test

曹智睿 ^1,2,*付跃刚 ¹田浩 ²

作者单位

¹ 长春理工大学, 长春 130021

² 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 长春 130033

补充材料

曹智睿, 付跃刚, 田浩. 空气洁净度对点源透射比测试准确度的影响[J]. 光子学报, 2016, 45(1): 0112002. CAO Zhi-rui, FU Yue-gang, TIAN Hao. The Impact for the Air Cleanliness to the Precision of PST Test[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2016, 45(1): 0112002.