基于共振光隧穿效应的加速度传感器 | 激光技术 -- 中国光学期刊网

激光技术, 2019, 43 (1): 43, 网络出版: 2019-01-22

基于共振光隧穿效应的加速度传感器

Acceleration sensors based on resonant optical tunneling effect

白刚 ^1,2菅傲群 ^1,2,*邹璐 ^1,2

作者单位

¹ 太原理工大学微纳系统研究中心, 太原 030024

² 太原理工大学新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室, 太原 030024

传感器技术共振光隧穿效应加速度传感器灵敏度谐响应 sensor technique resonant optical tunneling effect acceleration sensor sensitivity harmonic response

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