基于WMPS的多光谱光轴平行性检测系统设计

刘秉琦; 余皓; 邹剑; 应家驹

半导体光电, 2014, 35 (5): 894, 网络出版: 2014-10-23

基于WMPS的多光谱光轴平行性检测系统设计

Design of Multi-spectral Axis Parallelism Calibration System Based on WMPS

刘秉琦 ^1,*余皓 ¹邹剑 ²应家驹 ¹

作者单位

¹ 军械工程学院光学与电子工程系, 河北石家庄 050003

² 天津大学精仪学院, 天津 300072

补充材料

刘秉琦, 余皓, 邹剑, 应家驹. 基于WMPS的多光谱光轴平行性检测系统设计[J]. 半导体光电, 2014, 35(5): 894. LIU Bingqi, YU Hao, ZHOU Jian, YING Jiaju1. Design of Multi-spectral Axis Parallelism Calibration System Based on WMPS[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2014, 35(5): 894.