1 中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆 400060
2 中国电子科技集团公司第四十四研究所, 重庆 400060
单晶薄膜声表面波(SAW)滤波器因其低损耗, 低频率温度系数及大带宽而成为高性能SAW滤波器未来发展的方向。针对单晶薄膜衬底反射带来的换能器指条锯齿和均匀性恶化的问题, 该文采用了有机抗反射膜工艺, 通过控制抗反射膜的膜厚将衬底的相对反射率由15.84%降低至1.08%, 制作出整齐无毛刺的叉指换能器指条, 并将SAW谐振器的伯德Q（Bode-Q）值由1 400提升到1 950。
压电单晶薄膜衬底 抗反射膜 光刻 伯德Q值 piezoelectric single crystal thin film substrate antireflective film lithography Bode-Q
1 中航工业航空动力控制系统研究所, 江苏 无锡 214036
2 重庆光电技术研究所, 重庆 400060
陶瓷空封光电耦合器存在高压下的内部气体放电, 分析其放电电流特性有助于器件可靠性研究。提出了基于体电流和气体放电电流的陶瓷空封光电耦合器漏电流模型, 并针对高压下漏电流测试能力不足的现状, 设计了基于悬浮供电的漏电流检测系统, 通过对高压下器件漏电流的测试及对比分析, 实现了对内部气体放电电流特性的定量评估。
高压 陶瓷空封 光电耦合器 气体放电电流 high voltage ceramic hollow package photocoupler gas discharge current
