1 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室, 重庆 400044
2 重庆大学微系统研究中心, 重庆 400044
针对微型紫外光谱仪应用设计要求,开展了紫外光谱仪系统研究,完成了IV型光学系统设计。研制出在线实时分析的微型紫外光谱仪,对样机主要参数的测试表明:其工作波长为200~400 nm,分辨率达0.31 nm,波长准确性为±0.1 nm,信噪比为507∶1。通过12 h系统稳定性测试,结果表明该样机光谱波动小于0.47%,达到了光谱仪长期工作的稳定性要求。在25 ℃的实验条件下通过SO2气体对光谱仪性能进行测试,基于差分吸收光谱技术理论,完成了标准气体的差分吸收截面计算。通过连续24 h对质量浓度为20~100 mg/m 3的SO2进行测试,结果表明光谱仪测试数据反演质量浓度的波动性小于1%,线性误差小于0.6%,最大示值误差为-0.56 mg/m 3。
光谱学 紫外光谱仪 IV型光学系统设计 差分吸收光谱技术 SO2 激光与光电子学进展
2020, 57(5): 053003
庾繁 1,2,3温泉 1,2,3雷宏杰 1,2,3黄良坤 1,2,3温志渝 1,2,3
1 重庆大学微系统研究中心, 重庆 400044
2 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室, 重庆 400044
3 重庆大学光电工程学院, 重庆 400044
综述了近年来国内外阵列检测型、光栅扫描型、滤光片型、傅里叶变换型和阿达玛变换型等多种类型微型近红外光谱仪关键技术的研究进展, 详细讨论了各种类型的优缺点、适合的应用领域及存在的问题。最后, 对微型近红外光谱仪的应用和发展趋势进行了总结和展望。
光谱学 微型光谱仪 微光机电系统 近红外波段 激光与光电子学进展
2018, 55(10): 100003