红外与激光工程
2025, 54(6): 20250156
红外与激光工程
2025, 54(2): 20240519
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
2 中国科学院大学,北京 100049
光学系统镜面面形的可检测性是光学系统从设计走向应用的基本条件。目前的光学系统设计方法多侧重于约束外形尺寸、提高成像质量,光学系统设计和光学元件检测设计与评估经常是先后进行的,在系统设计时不直接得到检测性的反馈。对于高指标要求的光学系统,容易造成系统像质设计良好、但元件检测难度过大的情况,使光学系统的落地应用产生瓶颈。在光学系统优化设计过程中,融入检测的相关理论方法是解决光学元件面形可检测性的重要途经。以离轴三反光学系统设计为切入点,CGH (Computer Generated Hologram)为光学元件检测工具,推导了光学系统设计参数与CGH相关参数的数学关系,作为光学系统面形的可检测性的桥梁,建立了面向镜面面形可检测性评估的离轴三反光学系统设计方法。在设计验证环节,以焦距为800 mm、F数为4、视场为14°×2°的离轴三反系统为例进行了设计仿真,在保证系统像质(调制传递函数 (Modulation Transfer Function, MTF) 值大于0.4@100 lp/mm)的同时,将用于检测的CGH最小条纹宽度从4.84 μm提升到14.34 μm,提高了非球面反射镜的可检测性。该设计方法实现了在光学设计中对检测参数的评估与控制,对降低光学元件检测难度、提高光学系统设计的可实现性具有一定意义。
光学设计 光学检测 离轴三反 计算全息图 optical design optical testing off-axis three-mirror computer generated hologram 红外与激光工程
2024, 53(10): 20240323
为了充分利用计算机的计算性能提高基于点源模型的计算全息图(CGH)的生成速度,设计了基于多核中央处理单元(CPU)和图形处理单元(GPU)的计算全息图快速生成系统,并对该系统进行了优化。首先采用统一架构平台设计并实现了基于点源模型的计算全息图生成系统,提出了计算的优化策略;然后根据优化的计算公式来减少计算量;最后对任务调试等进行优化,构建CPU的并行计算系统,其中一个核心负责启动函数和传输数据,其余核心承担一部分计算任务,进一步提高计算速度。结果表明,设计的系统能让CPU和GPU的性能均得到充分利用,在同等配置的计算硬件条件下,生成计算全息图的加速比较GPU系统计算全息图的加速比提高了4~4.75倍,可以有效提高计算全息图的生成速度。该研究对快速生成3维场景全息图是有帮助的。
全息 计算全息 异构系统 点源模型 holography computer-generated hologram heterogeneous system point-source model
1 中国科学院微电子研究所集成电路制造技术全国重点实验室,北京 100029
2 中国科学院大学集成电路学院,北京 100049
3 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
提出一种同时出射3个波前的复合三相位计算全息图(CGH),并将其应用于波前误差校正。通过6次组合测量标定出CGH基底制造误差和图形位置误差,并在检测结果中予以消除。所测试的极紫外光刻(EUVL)非球面光学元件峰谷(PV)值和均方根(RMS)误差分别为31.6 nm和4.88 nm。此外,对同一非球面光学元件进行基于折射零位补偿的检测实验,其PV值和RMS误差分别为38.6 nm和5.14 nm。所提出的复合三相位CGH具有实现亚纳米量级的EUVL非球面光学元件面形检测潜力。
测量 非球面 复合相位 计算全息图 组合测量 光学学报
2024, 44(14): 1412003
李春琦 1,2,3,4黄启泰 1,2,3,4,*任建锋 1,2,3,4
1 苏州大学光电科学与工程学院,江苏 苏州 215006
2 苏州大学苏州纳米科技协同创新中心,江苏 苏州 215006
3 苏州大学江苏省先进光学制造技术重点实验室,江苏 苏州 215006
4 苏州大学教育部现代光学技术重点实验室,江苏 苏州 215006
利用计算全息图(CGH)能够实现对非球面面形的高精度检测。为了提高CGH的编码效率,提出一种以圆弧为基元对刻线条纹进行分段描述的编码方法,该方法将编码过程分为二值化编码和曲线描述两个步骤。二值化编码采用牛顿迭代法将相位等高分界线离散化;曲线描述结合二分法及残余误差均方根最小准则,利用圆弧对条纹离散点进行编码计算,从而得到刻线条纹。针对一离轴非球面,进行了CGH的设计、编码与制作,在编码精度优于λ/1000的前提下,运算时间仅需3 h,编码文件仅为39 MB,刻蚀时长仅需40 min,证明所提方法相对于传统编码方法能够大幅度提高编码效率,且误差分析表明CGH的波前root-sum square(RSS)误差仅为0.00255λ,证明所提编码方法高效可行。
计算全息图 编码计算 圆弧 刻线条纹 激光与光电子学进展
2024, 61(8): 0809002
1 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所,河南 洛阳 471009
2 空基信息感知与融合全国重点实验室,河南 洛阳 471009
针对离轴光学系统装调过程中自由度高且互相耦合的问题,提出一种新的离轴自由曲面反射式光学系统装调方法,采用计算全息图(CGH)实现多镜共基准定姿定态,解耦合系统各镜片的装调自由度,显著降低系统装调复杂度;分析CGH用于定姿定态时的定位精度,提高系统装调精度和效率,适应不同构型的离轴光学系统。利用上述方法,完成口径为、视场为的近红外长波红外双波段离轴反射式光学系统装调,全视场波像差RMS小于(),达到设计预期,装配周期短,成像质量优良。
光学设计 计算全息图 离轴三反 自由曲面
非球面反射镜通常使用零位补偿器配合干涉仪进行面形检测,因此零位补偿器的加工和装配精度直接决定了检测结果的可靠性。提出一种具备良好通用性的基于计算全息片(CGH)的补偿器误差标定方法。以一块Φ856 mm、f/1.54的双曲面反射镜作为待测非球面镜,首先设计反射式CGH,运用光线追迹法得到CGH的相位函数,使其引入的球差与待测非球面主镜的法线像差相同,再由ZEMAX仿真计算验证该设计的正确性,并根据相位函数加工出主全息。在同一块玻璃基片上设计和加工对准全息带用于标定光路的调整。实验结果表明,所制作的CGH标定零位补偿器的精度达到λ/80。可见对于大口径、快焦比的凹非球面反射镜,所提方法仍然适用,因此可用于指导多数正轴非球面镜的零位补偿器标定。
零位补偿器 干涉检测 计算全息片 相位函数 光线追迹 激光与光电子学进展
2024, 61(4): 0422001