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王慎 1曹耘 2,*闫力松 3,*
作者单位
摘要
1 中国人民大学,北京 100872
2 宁波市知行光学科技有限公司,浙江 余姚 315400
3 华中科技大学 光学与电子信息学院,湖北 武汉 430074
离轴非球面反射镜是高性能空间光学系统的核心部件,用于研制大视场、长焦距空间遥感相机。为了解决离轴非球面反射镜的高精度面形检测,保障空间遥感相机的成像效果,基于计算全息光学元件建立了一种离轴非球面反射镜的高精度面形检测方法。该方法通过设计基准光斑确定待测镜面的空间位置,通过像差调节可以高精度实现对于待测镜面的干涉检测,利用载频有效分离干扰衍射级次,从而实现对于待测镜面的高精度测量。为了验证所述方法的设计检测精度与有效性,完成对于目标离轴非球面反射镜的干涉检测补偿设计。设计结果表明,利用所述方法可以有效地实现对于离轴非球面反射镜的干涉测量,镜面全口径设计结果残差为0 nm RMS,验证了该方法的设计可靠性与实用性。
干涉检测 零位补偿 计算全息 离轴非球面 off-axis aspherical surface interferometry null compensation computer generated hologram 
红外与激光工程
2025, 54(6): 20250156
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作者单位
摘要
1 中国人民大学, 北京 100872
2 浙江大学 光电科学与工程学院, 浙江 杭州 310058
3 浙江舜宇光学有限公司, 浙江 余姚 315400
4 华中科技大学 光学与电子信息学院, 湖北 武汉 430074
为了解决同轴高次非球面的高精度面形检测问题,本文提出了一种基于CGH的同轴高次非球面零位补偿检测设计方法。利用所提方法,可以实现同轴非球面补偿设计中各衍射级次的有效分离,可实现对于待测镜面的零位补偿设计。结合工程实例,本文对一口径为260 mm的同轴高次非球面反射镜实现了零位补偿检测设计。从CGH设计结果可以看出,基于本文检测设计方法,其理论设计检测残差(RMS值)可以达到0 nm。此外,还完成了对于该同轴高次非球面反射镜的实际检测。针对检测过程中的误差源进行了误差分析,以验证本方法的可靠性与精度。
光学检测 补偿 计算全息 同轴高次非球面 optical testing compensation computer generated hologram high-order coaxial aspherical surface 
中国光学
2025, 18(2): 237
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作者单位
摘要
季华实验室,广东 佛山 528253
次镜的全口径面形测量是干涉检测中的难点问题,为了实现同轴高次碳化硅非球面次镜的全口径面形检测,提出了一种基于CGH的零位补偿测量模型。利用该模型对90 mm口径的高次碳化硅非球面次镜进行了零位补偿设计。设计中,为了降低次镜的调整测试难度,采用平面波出射干涉仪、CGH及待测同轴高次碳化硅非球面次镜进行光路搭建设计。从设计分析可以得出,基于文中的次镜补偿设计方法,其补偿设计的理论设计精度RMS值为0 nm,验证了该设计方法的精度与准确性。同时,对该次镜进行了干涉检测及误差分析,其全口径面形检测结果RMS值达到0.015λλ=632.8 nm),标定CGH透射波像差后其全口径面形检测结果RMS值为0.016λλ=632.8 nm),进一步验证了文中方法的可靠性。
干涉检测 零位补偿 计算全息 非球面次镜 interferometry null compensation computer generated hologram aspherical convex mirror 
红外与激光工程
2025, 54(2): 20240519
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作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
2 中国科学院大学,北京 100049
光学系统镜面面形的可检测性是光学系统从设计走向应用的基本条件。目前的光学系统设计方法多侧重于约束外形尺寸、提高成像质量,光学系统设计和光学元件检测设计与评估经常是先后进行的,在系统设计时不直接得到检测性的反馈。对于高指标要求的光学系统,容易造成系统像质设计良好、但元件检测难度过大的情况,使光学系统的落地应用产生瓶颈。在光学系统优化设计过程中,融入检测的相关理论方法是解决光学元件面形可检测性的重要途经。以离轴三反光学系统设计为切入点,CGH (Computer Generated Hologram)为光学元件检测工具,推导了光学系统设计参数与CGH相关参数的数学关系,作为光学系统面形的可检测性的桥梁,建立了面向镜面面形可检测性评估的离轴三反光学系统设计方法。在设计验证环节,以焦距为800 mm、F数为4、视场为14°×2°的离轴三反系统为例进行了设计仿真,在保证系统像质(调制传递函数 (Modulation Transfer Function, MTF) 值大于0.4@100 lp/mm)的同时,将用于检测的CGH最小条纹宽度从4.84 μm提升到14.34 μm,提高了非球面反射镜的可检测性。该设计方法实现了在光学设计中对检测参数的评估与控制,对降低光学元件检测难度、提高光学系统设计的可实现性具有一定意义。
光学设计 光学检测 离轴三反 计算全息图 optical design optical testing off-axis three-mirror computer generated hologram 
红外与激光工程
2024, 53(10): 20240323
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作者单位
摘要
昆明理工大学 理学院,昆明 650500,中国
为了充分利用计算机的计算性能提高基于点源模型的计算全息图(CGH)的生成速度,设计了基于多核中央处理单元(CPU)和图形处理单元(GPU)的计算全息图快速生成系统,并对该系统进行了优化。首先采用统一架构平台设计并实现了基于点源模型的计算全息图生成系统,提出了计算的优化策略;然后根据优化的计算公式来减少计算量;最后对任务调试等进行优化,构建CPU的并行计算系统,其中一个核心负责启动函数和传输数据,其余核心承担一部分计算任务,进一步提高计算速度。结果表明,设计的系统能让CPU和GPU的性能均得到充分利用,在同等配置的计算硬件条件下,生成计算全息图的加速比较GPU系统计算全息图的加速比提高了4~4.75倍,可以有效提高计算全息图的生成速度。该研究对快速生成3维场景全息图是有帮助的。
全息 计算全息 异构系统 点源模型 holography computer-generated hologram heterogeneous system point-source model 
激光技术
2024, 48(2): 210
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张海涛 1,2,3谢常青 1,*
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所集成电路制造技术全国重点实验室,北京 100029
2 中国科学院大学集成电路学院,北京 100049
3 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
提出一种同时出射3个波前的复合三相位计算全息图(CGH),并将其应用于波前误差校正。通过6次组合测量标定出CGH基底制造误差和图形位置误差,并在检测结果中予以消除。所测试的极紫外光刻(EUVL)非球面光学元件峰谷(PV)值和均方根(RMS)误差分别为31.6 nm和4.88 nm。此外,对同一非球面光学元件进行基于折射零位补偿的检测实验,其PV值和RMS误差分别为38.6 nm和5.14 nm。所提出的复合三相位CGH具有实现亚纳米量级的EUVL非球面光学元件面形检测潜力。
测量 非球面 复合相位 计算全息图 组合测量 
光学学报
2024, 44(14): 1412003
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熊玉朋 1,2,3陈适宇 1,2黄铖 1,2,3路文文 1,2[ ... ]欧洋 1,2,3,*
作者单位
摘要
1 国防科技大学 智能科学学院装备综合保障技术重点实验室,湖南长沙40073
2 超精密加工技术湖南省重点实验室,湖南长沙410073
3 国防科技大学 南湖之光实验室,湖南长沙41007
面向机载探测系统大视场光学成像的需求,开展了大视场光学成像系统光学设计、自由曲面光学元件超精密加工、形位误差同步检测以及系统集成与成像实验研究。首先,采用视场扩展法进行大视场自由曲面离轴反射光学系统的设计;其次,进行铝合金自由曲面反射镜纳米精度加工和高频抑制工艺探索,并实现了基于计算全息元件的自由曲面形位高精度检测;最后,进行了光学系统的装调集成与成像实验。结果表明,系统的视场角为30°×5°,全视场光学传递函数值大于0.7,接近衍射极限,最大像元均方根半径为2.075 μm,自由曲面光学元件的面形精度均方根(Root Mean Square, RMS)值优于20 nm,位置精度优于1 μm,装配集成后能够满足大视场高分辨的场景使用要求,同时具备稳定可靠和快响制造等特点。
光学超精密加工 自由曲面 计算全息补偿检测 成像系统 optical ultra-precision machining free form surface Computer Generated Hologram (CGH) imaging system 
光学 精密工程
2024, 32(9): 1261
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李春琦 1,2,3,4黄启泰 1,2,3,4,*任建锋 1,2,3,4
作者单位
摘要
1 苏州大学光电科学与工程学院,江苏 苏州 215006
2 苏州大学苏州纳米科技协同创新中心,江苏 苏州 215006
3 苏州大学江苏省先进光学制造技术重点实验室,江苏 苏州 215006
4 苏州大学教育部现代光学技术重点实验室,江苏 苏州 215006
利用计算全息图(CGH)能够实现对非球面面形的高精度检测。为了提高CGH的编码效率,提出一种以圆弧为基元对刻线条纹进行分段描述的编码方法,该方法将编码过程分为二值化编码和曲线描述两个步骤。二值化编码采用牛顿迭代法将相位等高分界线离散化;曲线描述结合二分法及残余误差均方根最小准则,利用圆弧对条纹离散点进行编码计算,从而得到刻线条纹。针对一离轴非球面,进行了CGH的设计、编码与制作,在编码精度优于λ/1000的前提下,运算时间仅需3 h,编码文件仅为39 MB,刻蚀时长仅需40 min,证明所提方法相对于传统编码方法能够大幅度提高编码效率,且误差分析表明CGH的波前root-sum square(RSS)误差仅为0.00255λ,证明所提编码方法高效可行。
计算全息图 编码计算 圆弧 刻线条纹 
激光与光电子学进展
2024, 61(8): 0809002
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作者单位
摘要
1 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所,河南 洛阳 471009
2 空基信息感知与融合全国重点实验室,河南 洛阳 471009
针对离轴光学系统装调过程中自由度高且互相耦合的问题,提出一种新的离轴自由曲面反射式光学系统装调方法,采用计算全息图(CGH)实现多镜共基准定姿定态,解耦合系统各镜片的装调自由度,显著降低系统装调复杂度;分析CGH用于定姿定态时的定位精度,提高系统装调精度和效率,适应不同构型的离轴光学系统。利用上述方法,完成口径为210 mm、视场为2°×2°的近红外长波红外双波段离轴反射式光学系统装调,全视场波像差RMS小于0.126λλ=632.8 nm),达到设计预期,装配周期短,成像质量优良。
光学设计 计算全息图 离轴三反 自由曲面 
光学学报
2024, 44(3): 0322002
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作者单位
摘要
常州工学院光电工程学院,江苏 常州 213032
非球面反射镜通常使用零位补偿器配合干涉仪进行面形检测,因此零位补偿器的加工和装配精度直接决定了检测结果的可靠性。提出一种具备良好通用性的基于计算全息片(CGH)的补偿器误差标定方法。以一块Φ856 mm、f/1.54的双曲面反射镜作为待测非球面镜,首先设计反射式CGH,运用光线追迹法得到CGH的相位函数,使其引入的球差与待测非球面主镜的法线像差相同,再由ZEMAX仿真计算验证该设计的正确性,并根据相位函数加工出主全息。在同一块玻璃基片上设计和加工对准全息带用于标定光路的调整。实验结果表明,所制作的CGH标定零位补偿器的精度达到λ/80。可见对于大口径、快焦比的凹非球面反射镜,所提方法仍然适用,因此可用于指导多数正轴非球面镜的零位补偿器标定。
零位补偿器 干涉检测 计算全息片 相位函数 光线追迹 
激光与光电子学进展
2024, 61(4): 0422001

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