研究了平均功率达85 W高功率高稳定性全固态绿光激光器,从理论上分析了全固态内腔倍频晶体热效应相位失配对输出功率的影响;数值模拟了倍频晶体内部的热量分布,计算了倍频晶体相位匹配角随温度变化的失配量。在实验中,采用80个20 W的高功率半导体激光器侧面抽运单Nd∶YAG棒,采用双声光Q开关、高效平凹谐振腔结构,对大尺寸KTP晶体进行角度偏离法补偿相位失配并配合强冷却等技术,实现高功率内腔倍频激光器的稳定运转;在抽运电流为17.3 A时,实现了重复频率为20.4 kHz,脉冲宽度230 ns,输出功率为85 W的高功率、高重复频率绿光(532 nm)输出,不稳定性为±1.03%,光-光转换效率为9.7%。