1 山西大学电子信息技术系, 太原 030006
2 中国科学院安徽光机所, 合肥 230031
无外加氟施主情况下,在采用聚四氟乙烯面预电离板的准分子激光器中,分别用摄谱法和光电转换扫描法对放电激发Kr/Ne混合气体产生的有关紫外谱进行了分析,确定了KrF准分子的生成。研究了发射谱随各参量的变化关系。
无外加氟施主 聚四氟乙烯面预电离板 KrF准分子发射谱
无外加氟施主情况下,在装有聚四氟乙烯面预电离板的准分子激光器中,放电激发Xe/Ne混合气体产生了XeF准分子。研究了中心波长为351 nm,353 nm和308 nm的发射谱。放电激发Kr/Ne混合气体,观察到了KrF 248 nm发射谱。
无外加氟施主 表面预电离 准分子发射谱