1 中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电技术研究中心, 重庆 400714
2 中国科学院大学, 北京 100049
大面积平行光曝光机是印刷线路板(PCB)、显示面板和触摸屏等电子产品重要的制造设备,由于采用复眼结合反射镜的非轴对称科勒照明光路,其曝光均匀度只有0.85左右,难以满足高精度加工制造的需求。针对此问题,提出了采用自由曲面复眼替代传统的球面复眼,建立了高均匀度复眼单元的自由曲面面型设计方法。光线追迹仿真实验结果显示,采用所提方法后曝光均匀度提高到了0.91以上,满足高精度加工制造所需的高曝光均匀度的要求。所设计的自由曲面复眼的面型连续,可以通过金刚石车削进行精密加工,有望在大面积平行光曝光机照明光路中得到广泛应用。
光学设计 高均匀度 自由曲面 曝光机 复眼透镜 激光与光电子学进展
2018, 55(4): 042201
中国工程物理研究院流体物理研究所, 四川 绵阳 621900
随着电子行业的迅速发展，对作为电子元器件基本构件的印制板的需求量及其加工精度的要求越来越高。紫外线曝光机是印制板制造工艺中的重要设备，光学曝光过程中对光照均匀性的要求很高。基于照明设计软件LightTools，设计了一种新的曝光机照明系统。通过大量的仿真模拟对系统进行优化。实验表明，优化后的照明系统设计使得光照度的均匀性在原来的基础上提高了8倍，在有效的视场范围内，光强分布均匀稳定，达到了PCB曝光机照明系统的要求。
照明设计 均匀性分析 LightTools软件 PCB曝光机照明系统 illumination design uniformity analysis LightTools software illuminating system of PCB exposure machine
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093
紫外曝光机是印刷线路板(PCB)制作工艺中的重要设备,PCB高密度、微细化的发展趋势,对曝光机光照均匀性,平行性的要求越来越高。为了找出可以更好满足市场需求的曝光机光学系统,运用非成像光学方法,对两种不同光学结构曝光机的光斑均匀性进行了对比分析。通过实验可以看出,在通光孔径较大的光学系统中,复眼透镜阵列和方棒对改善系统光照均匀性以及能量利用率的作用,在实验基础上对如何选择光学系统的匀光器件做了对比性阐述。
印刷线路板(PCB) 紫外曝光机 复眼 方棒 printed circuit board(PCB) UV exposure machine fly eye lens light pipe
