1 南京理工大学电光学院, 江苏 南京 210094
2 西安应用光学研究所, 陕西 西安 710065
非球面在光学系统中具有非常重要的作用。基于零位补偿计算全息(CGH)的干涉测量方法，因精度高、信息量大、调校方便，在光学计量和制造业领域受到广泛重视。以F数为4抛物面为测量样品，以光学计量领域比较成熟的平面、球面波象差，采用自准直方法，测出抛物面面形波象差；再用零位补偿CGH方法测量同一块样品，研究零位补偿CGH的误差传递数据。通过主要原理误差分析与计算，在光学熔融石英平面基底上制作零位补偿CGH，测量不确定度达到λ/10\[峰谷值(PV), λ=0.6328 μm\]，满足非球面波象差光学计量的要求。
测量 非球面 波像差 标准球面 抛物面 干涉测量
南京理工大学,电子工程与光电技术学院,江苏,南京,210094
研究了移相式红外泰曼-格林干涉仪,研制出光机电算一体化的仪器,仪器孔径为Φ30 mm.编制了计算机软件,用于干涉图波面的拟合与红外光学系统成像质量的评价,所编软件与国际上同类软件的计算精度相当.介绍了红外干涉仪的多种应用:评价红外光学系统的像质,检测光学件精磨表面粗糙度、光盘基片面形的平整度.结果表明,仪器干涉系统光学质量优于λ/25,扩展不确定度优于λ/130,重复性优于λ/200(λ＝10.6 μm).
红外干涉仪 波面拟合 干涉检验 Infrared interferometer Wavefront fitting Interferometric test
