作者单位
摘要
1 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 安徽 合肥 230009
2 南阳理工学院机械与汽车工程学院, 河南 南阳 473004
为了减小光栅投影三维测量系统中数字投影仪的非线性响应引起的相位误差,提出了一种提高物体相位测量精度和速度的多频条纹反向相位误差补偿方法。该方法通过投影与最高频率相同且具有特定相移量的补偿相移条纹图,获取相位误差大小相等,符号相反的两幅主值相位图,二者运算后误差得以抵消,与多频法相结合从而得到精确的绝对相位值。采用标准平面对提出的方法进行实验验证,并与最近提出的希尔伯特变换补偿方法以及典型相位补偿方法进行比较。实验结果表明,所提方法能有效提高相位测量的精度和速度。通过对自由曲面以及表面不连续物体进行相位误差补偿,进一步验证了该方法的可行性和有效性。
测量 相移条纹轮廓术 非线性相位误差 反向误差补偿法 多频法 
光学学报
2018, 38(4): 0412005

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