提出了一种测量平行液晶空间光调制器(SLM)相位调制特性的自干涉法。该方法实验简单，具有良好的稳健性。加载到SLM的灰度图由三部分组成，一部分是二元衍射光栅灰度图；另外两部分加载的灰度图均匀分布，下部分灰度值恒为0，上部分灰度值从0逐渐增加。随着上部分灰度的改变，经过相位调制的反射光束与光栅产生的+1级衍射光干涉生成一整幅错位条纹图，通过测量同一幅干涉条纹的周期和上下条纹之间的相对移动量来计算SLM的相位调制量大小，该方法消除了环境振动或空气湍流引起的条纹抖动对测量的影响，提高了测量精度。与其他方法相比，该方法获取SLM相位调制特性不需要复杂的光学装置，且具有优良的机械稳定性，反应快速更易实施。

利用Zygo 干涉仪对斜入射下液晶空间光调制器的纯相位调制特性进行了测量。建立了斜入射下液晶空间光调制器的纯相位调制数学模型，研究了斜入射角度对相位调制特性的影响，搭建了基于Zygo干涉仪的测量系统，对不同入射角度下的相位调制特性进行了测量。测量结果表明：不同入射角度下相位调制量近似线性递增，入射角度越大，相位调制量递增的斜率越小；相同灰度值下，随着入射角度的增加，相位调制量逐渐减小；入射角度小于5°时相位调制曲线几乎重合，相同灰度值下相位调制量最大相位差为0.032λ。

提出一种基于液晶偏振分光的共光路干涉测量方法来测量液晶空间光调制器(LCSLM)的相位调制特性。线偏振入射光束被LCSLM 分为两束正交线偏振光，然后沿相同方向传播至渥拉斯顿棱镜(WP)；经WP 出射的两光束产生横向剪切，同时，WP 也将会在两光束之间引入倾斜调制，从而当它们再经过检偏器后产生载频干涉条纹。用傅里叶变换法计算两帧干涉条纹之间的相对相移量。给出了透射式LCSLM 相位调制特性的实验测量结果。该方法对振动、空气扰动不敏感，能够测量得到LCSLM 的整体相位调制特性，结果更加精确、科学。