1 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院, 北京 100191
2 微纳测控与低维物理教育部重点实验室, 北京 100191
3 惯性技术重点实验室, 北京 100191
4 北京信息科技大学光电信息与通信工程学院, 北京 100192
基于相位凝固技术的激光反馈干涉术，为验证其可行性及测量分辨率，设计了微位移测量验证系统。在系统中利用相位调制器进行外腔相位调制，采用相位凝固技术进行采样及解调，重构出外部目标物的位移信息。建立了测量系统的模型，进行了基于相位凝固技术的调制解调算法仿真及位移测量验证实验。实验验证了仿真的正确性和系统的可行性，通过比较外部目标物的实际位移与系统重构位移结果，得出测量峰谷值相对误差小于3%。研究表明，此测量方法能够准确地测量出外部目标物的位移信息，可有效提高系统测量分辨率，并可实现微位移的实时测量。
测量 激光反馈干涉 位移测量 相位凝固技术
1 北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院，北京 100191
2 微纳测控与低维物理教育部重点实验室，北京 100191
3 北京信息科技大学 光电信息与通信工程学院，北京 100192
针对激光反馈干涉术，提出基于相位凝固技术的调制解调方法，用以提高位移测量的分辨率，并设计了利用相位调制器进行调制的位移测量系统.利用调制器进行外腔相位调制，采集调制相位相对固定的干涉光信号，通过解调重构得到被测的位移信息.进行了信号调制、采样、重构技术的研究以及误差分析，并通过仿真验证了方法的可行性.结果表明，采用5点相位凝固采样技术，测量准确度可以达到λ/20.此方法可提高激光反馈干涉术的测量分辨率，实现信号实时采集处理，可用于位移的实时测量.
相位凝固技术 激光反馈干涉 位移测量 电光调制器 Optical feedback interferometry Phase-freezing technology Displacement measurement Electro-optic modulator
