1 凯里学院物理与电子工程学院, 贵州 凯里 556011
2 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
采用原子层沉积技术实现了膜层厚度均匀性小于3.5%的银饰TiO2保护薄膜的制备。X射线衍射测试结果表明，沉积温度为100 ℃时薄膜为无定型结构，沉积温度为250 ℃时薄膜为锐钛矿相。腐蚀实验结果表明，30 nm和45 nm厚度的TiO2薄膜都具一定的抗变色能力，但厚度为45 nm的TiO2薄膜的抗变色能力更佳。光谱测试结果表明，在不影响银饰外观的前提下，单层TiO2作为保护膜的抗变色效果无法达到最佳。
薄膜 均匀性 光谱测试 银饰 激光与光电子学进展
2017, 54(3): 033102
