1 中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室, 陕西 西安 710119
2 中国科学院大学, 北京 100049
利用重复频率为1 kHz，中心波长为800 nm，脉冲宽度为120 fs的超短脉冲激光在掺Er3+“无水”氟碲酸盐玻璃中利用狭缝整形技术横向刻写了I类和压低圆包层波导。在对波导刻写参数进行系统研究后，得到了两组导光模式较优的波导。利用波导的近场模式强度分布重构了其折射率分布图，得到两类波导最大的折射率增加量分别为1×10-4和1.9×10-4。用散射法测试了I类波导的传输损耗为1.04 dB/cm；通过测量插入损耗得到压低圆包层波导的传输损耗小于1.88 dB/cm。因此，利用飞秒激光在掺Er3+“无水”氟碲酸盐玻璃中刻写的光波导，在集成激光光源制作方面具有很好的应用前景。
集成光学 光波导 飞秒光刻 狭缝整形 掺Er3+“无水”氟碲酸盐玻璃
