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 标记非对称变形导致的对准误差修正方法及其在套刻测量中的应用

杜聚有 戴凤钊 王向朝

[摘要]硅片对准标记经过光刻工艺后产生的非对称变形会导致对准测量误差,目前普遍采用工艺验证的方法修正此对准测量误差,但该方法存在一定的工艺适应性问题。针对该对准测量误差,提出了一种新的修正方法,即利用非对称变形对...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(07):0704004

 基于差分空间像主成分分析的偏振像差检测方法

孟泽江 李思坤 王向朝 步扬 杨朝兴 戴凤钊

[摘要]提出了一种原位的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。定义一种新的偏振像差表征方法,推导了3对正交偏振态照明下空间像之差与偏振像差3个泡利项之间的互相关关系,并据此对交替相移掩模的3组差分空间像进行主成分分析进而...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(07):0712006

 光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法

孟泽江 李思坤 王向朝 步扬 杨朝兴

[摘要]提出一种基于琼斯光瞳的光刻投影物镜偏振像差检测方法。推导了基于琼斯矩阵的检测方程,建立了光强矢量与琼斯矩阵克氏积的线性关系,利用该线性关系直接检测琼斯光瞳形式的偏振像差。以一个典型的光刻投影物镜的琼斯...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(03):0312004

 光学相干层析成像图像中角膜厚度的自动测量方法

高阳 李中梁 张建华 南楠 王瑄 王向朝

[摘要]提出了基于边界跟踪、轮廓定位和曲线拟合的光学相干层析成像(OCT)图像中角膜厚度的自动测量方法。分别测量了高信噪比以及存在噪声和伪影的角膜OCT图像中的角膜厚度,并验证了所提方法的有效性和实用性。研究结果表明...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(03):0311003

 用于微针经皮给药成像的扫频OCT系统

宋思雨 李中梁 高云华 余俊杰 南楠 王瑄 袁春晓 王向朝

[摘要]微针经皮给药结合了注射和经皮给药两者的优势,可提高大分子药物的经皮吸收量,对皮肤几乎无损害,因此具有良好的应用前景。然而,此技术仍处于发展阶段,需要利用成像手段对微针刺入皮肤的深度、药物颗粒的吸收/释放...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(08):0807001

 基于光声-光学相干层析成像的血流测量技术

潘柳华 张向阳 李中梁 南楠 步扬 陈艳 王瑄 王向朝

[摘要]研究应用光声-光学相干层析成像(PA/OCT)双模式成像方法测量血流绝对速度和角度。在双模式成像方法中,利用光声相关谱方法测量血流速度在垂直于探测激光光束传播方向的速度分量,利用多普勒光学相干层析成像测量血流速...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(06):0607004

 一种基于固定光程差干涉信号的光学相干层析成像光谱标定方法

王瑄 李中梁 南楠 步扬 曾爱军 陈艳 潘柳华 卢宇 王向朝

[摘要]提出了一种基于固定光程差干涉信号的光谱标定方法。在频域光学相干层析成像(OCT)系统中引入一个光程差为固定值的干涉信号,则每次采集的信号同时包含该固定光程差的干涉信号和样品的干涉信号,通过滤波的方式将该固定...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(06):0607005

 平面子孔径拼接干涉测量精度分析

卢云君 唐锋 王向朝 郭福东

[摘要]如何提高子孔径拼接干涉测量精度是子孔径拼接系统的关键问题。针对一维平面子孔径拼接系统,分别采用两两拼接算法和误差均化拼接算法,进行拼接位移台定位误差、参考面面形误差和随机噪声对拼接精度影响的数值仿真与...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(04):0404002

 偏振频域OCT系统光谱错位分析及光谱校准

陈艳 李中梁 南楠 步扬 卢宇 宋思雨 王向朝

[摘要]偏振频域光学相干层析成像(FD-PS-OCT)可以通过测量样品的偏振特性实现某些疾病的早期诊断。偏振参数的测量精度关系到疾病诊断的准确性。在FD-PS-OCT中,正交的两路干涉信号即使仅存在很小的光谱错位,也可能导致偏振...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(02):0207022

 基于光声相关谱法的血液流速测量

潘柳华 张向阳 李中梁 南楠 步扬 陈艳 王瑄 王向朝

[摘要]利用光声相关谱法对血液流速进行了测量,并研究了激光重复频率以及血流方向与入射激光传播方向的夹角对血液流速测量准确性的影响。结果表明:血流速度越快,要求激光的重复频率越高;当血流方向与入射激光的传播方向...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(11):1107001

 偏振频域光学相干层析成像中散斑噪声降低方法

陈艳 李中梁 南楠 步扬 王瑄 潘柳华 王向朝

[摘要]偏振频域光学相干层析成像(OCT)中图像质量受散斑噪声影响较大,散斑噪声会使图像细节变模糊,降低图像清晰度。针对此问题,提出了一种分光谱降低偏振频域OCT散斑噪声的方法。该方法将系统的全光谱信号分为多个光谱...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(08):0811004

 成像系统倍率高精度测量技术研究

董冠极 唐锋 王向朝 冯鹏 郭福东 彭常哲

[摘要]针对目前尚无高精度通用倍率测量方法与装置的问题,提出了基于双光纤点衍射干涉仪的成像系统倍率高精度测量方法。通过分析双点光源间距、CCD相机空间位置与点衍射干涉场相位Zernike多项式系数之间的定量关系,得到物...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0712007

 基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术

诸波尔 李思坤 王向朝 戴凤钊 唐锋 段立峰

[摘要]提出了一种基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术。通过采用一元线性采样方式,在不同偏振照明条件下采集浸没式光刻机投影物镜的空间像进行主成分分析,在快速建模的同时实现高阶波像差的高精...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0712004

 基于机器学习校正的极紫外光刻含缺陷掩模仿真方法

张恒 李思坤 王向朝 成维

[摘要]提出了一种基于机器学习参数校正的极紫外光刻三维含缺陷掩模仿真方法。本方法采用随机森林、K近邻等机器学习方法,对基于结构分解法的含缺陷掩模衍射谱快速仿真模型的参数进行动态校正,提高了模型的精度及适应性。以...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(12):1222002

 基于改进型结构分解的极紫外光刻掩模衍射谱快速仿真方法

张恒 李思坤 王向朝

[摘要]对极紫外光刻掩模的吸收层和多层膜分别建模, 将二者组合以实现对具有复杂图形分布的掩模衍射谱的快速精确仿真。对存在图形偏移的吸收层, 采用扩展的边界脉冲修正法进行仿真。对无缺陷及含缺陷的多层膜, 分别采用等效...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(01):0105001

 一种提高扫频光学相干层析成像系统灵敏度的方法

王 瑄 李中梁 南 楠 步 扬 陈 艳 潘柳华 卢 宇 曾爱军 王向朝

[摘要]提出了一种提高扫频光学相干层析成像(SSOCT)系统灵敏度的方法。在SSOCT系统中, 当平衡探测器前耦合器的分束比不是50%∶50%时, 会在探测的干涉信号中引入直流偏置, 从而影响系统的灵敏度。分析了干涉信号中引入直流偏...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(08):0807002

 基于互相关运算的扫频光学相干层析成像延时校正算法

卢宇 李中梁 南楠 步扬 陈艳 王瑄 王向朝

[摘要]提出了一种扫频光学相干层析成像k-clock延时校正算法, 该算法基于互相关运算, 能够有效校正光源自带k-clock信号的延时。由于扫频光源的不稳定性、同步触发硬件的精度不足以及外界环境影响, 扫频光源自带的k-clock信号...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(06):0607001

 50 kHz血管内扫频光学相干层析成像系统

卢 宇 李中梁 王向朝 南 楠 王 瑄

[摘要]研制了一套探头末端直径为1 mm的血管内扫频光学相干层析成像(IV-OCT)系统。为了确保探头内格林透镜的中轴线与安装在微型电机轴上的直角棱镜的中轴线对准,制作了尺寸匹配的塑料套管;将格林透镜插入塑料套管后与微...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(02):0207001

 基于自相干叠栅条纹的光刻机对准技术

杜聚有 戴凤钊 步扬 王向朝

[摘要]随着光刻技术向10 nm及以下工艺节点的延伸, 光刻工艺对套刻精度提出了更高的要求, 相应的对准精度的要求已经达到亚纳米量级。提出一种基于自相干叠栅条纹的光刻机对准方法, 其原理是利用对准系统的光学结构将位相型光...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(12):1204006

 基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测

罗茂 步扬 徐静浩 王向朝

[摘要]为实现对光学元件表面疵病的精确测量和计数, 提出了一种基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法, 该方法采用不同波长的入射光源均匀照明光学元件表面, 通过暗场显微成像系统获得不同波长下的表面疵病图像。基于该...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0104001

 光学相干层析成像随深度变化的色散补偿方法

潘柳华 李中梁 王向朝 张向阳 南 楠 陈 艳 王 瑄 卢 宇

[摘要]提出一种随深度变化的色散补偿方法, 用以提升频域光学相干层析成像系统的纵向分辨率。该方法利用迭代算法计算出不同成像深度处的色散补偿系数, 通过数值计算, 得到色散补偿系数与成像深度的关系表达式, 计算出各成像...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(05):0511002

 基于变量分离分解法的极紫外光刻三维掩模快速仿真方法

张 恒 李思坤 王向朝

[摘要]提出了一种基于分离变量法的极紫外光刻三维掩模衍射谱快速仿真方法, 在保证一定仿真精度的前提下提高了仿真速度。该方法将三维掩模分解为2个相互垂直的二维掩模, 对2个二维掩模采用严格电磁场方法进行衍射谱仿真并将...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(05):0505001

 超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法

诸波尔 王向朝 李思坤 孟泽江 张恒 戴凤钊 段立峰

[摘要]提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记的空间像进行主成分分析(PCA)和多元线性回归分析,构建了超高NA光刻投影物镜的空间像光强分布与高阶波像差之...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(04):0412003

 基于粒子群优化算法的光刻机光源掩模投影物镜联合优化方法

王 磊 李思坤 王向朝 杨朝兴

[摘要]全芯片多参数联合优化是光刻分辨率增强技术的重要发展方向。提出了一种基于粒子群优化(PSO)算法的光源掩模投影物镜联合优化(SMPO)方法。将由像素表征的光源、由离散余弦变换基表征的掩模及由泽尼克系数表征的投影...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(10):1022001

 子孔径拼接干涉的快速调整及测量

郭福东 唐 锋 卢云君 王向朝

[摘要]考虑高精度子孔径拼接干涉测量技术对自动化拼接的要求, 提出了一种子孔径零条纹自动快速调节方法。分析了干涉条纹数量对拼接误差的影响, 分析显示: 当子孔径干涉条纹数量少于5条时, 干涉仪回程误差小于λ/50(PV值)。...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(10):2682

 高精度平面子孔径拼接算法研究

朱鹏辉 唐 锋 卢云君 王向朝 郭福东 李 永

[摘要]对平面子孔径拼接累积误差的理论分析及数值仿真表明,参考镜面形的拼接重叠区域的局部斜率差和直流偏差是产生累积误差的原因。为了提高大口径平面光学元件子孔径拼接检测精度,提出一种简单有效的可以减小子孔径拼接...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(11):1104002

 基于多染色体遗传算法的像素化光源掩模优化方法

杨朝兴 李思坤 王向朝

[摘要]提出了一种基于多染色体遗传算法(GA)的像素化光源掩模优化(SMO)方法。该方法使用多染色体遗传算法,实现了像素化光源和像素化掩模的联合优化。与采用矩形掩模优化的单染色体GASMO方法相比,多染色体GASMO方法具有更高...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0811001

 基于交替相移掩模矢量空间像的偏振像差检测方法

沈丽娜 王向朝 李思坤 闫观勇 诸波尔 孟泽江 张恒

[摘要]提出一种基于交替相移掩模空间像的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。采用泡利-泽尼克系数表征偏振像差,结合X和Y两种线性偏振照明方式,用像传感器测量不同照明条件下掩模空间像的成像位置偏移与最佳焦面偏移,利用标...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0811003

 基于评价函数的二维小波变换轮廓术小波脊提取方法

徐东瀛 李思坤 王向朝 汪凯巍

[摘要]小波脊提取是小波变换轮廓术的关键步骤,在抑噪能力和速度方面,前者直接影响后者。提出了基于评价函数的二维小波变换的一种新的小波脊提取方法,利用二维小波变换系数模信息、条纹瞬时频率信息以及局部条纹结构方向信...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(04):0412006

 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术

方伟 唐锋 王向朝 朱鹏辉 李杰 孟泽江 张恒

[摘要]Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术,实验装置简单,抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的检测,并分析了检测不同数值孔径投影物镜波像差所采用的光场传播公式、离散化条件及...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(10):1012002

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