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 一种太赫兹脉冲探测芯片性能分析

王雪锋 王建国 王光强 李爽 熊正锋 陆希成 彭建昌西北核技术研究所 西安 710024

[摘要]针对一种已经完成模拟设计、工艺研究及成品开发, 且线度仅为百μm量级的太赫兹脉冲热载流子探测芯片展开了几何参数及电参数测试, 并对其性能进行了分析探讨。结果表明: 探测芯片具有较小的几何加工偏差和良好的欧姆接...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(08):083103

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