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 天宫二号ZnTe:Cu晶体生长及能谱分析

王 仍 陆 液 焦翠灵 乔 辉 李向阳

[摘要]在微重力条件下生长了ZnTe:Cu晶体, 对其进行了光学和能谱分析, 在晶锭尾部最大结晶区对其进行了组分分析.对于尾部的轴向分量, 在空间样品中Cu的成分均匀性优于地面样品, 并且Te/Zn比的样品高于空间样品.尾部空间样品...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2019, 38(03):281

 紫外焦平面探测器读出电路抗辐照加固设计

马丁 乔辉 刘福浩 张燕 李向阳

[摘要]分析了MOS器件的辐照特性及辐照失效机理。基于Global Foundries 0.35μm CMOS工艺, 设计了一款320×256抗辐照加固紫外焦平面读出电路。该电路数字部分MOS管采用环形栅和双环保护进行加固, 并在读出电路表面交替生...

 PDF全文半导体光电 | 2018, 39(04):502

 子像元结构碲镉汞光伏器件暗电流特性的研究

乔辉 李向阳

[摘要]针对碲镉汞光伏器件的暗电流随着物理面积增大而急剧增加, 研究了子像元结构在降低大面积短波碲镉汞光伏器件暗电流方面的有效性。发现子像元结构在室温下相比常规结构可以有效降低器件的暗电流, 但当温度降到 180 K时...

 PDF全文红外技术 | 2017, 39(06):489

 ICP刻蚀气压对碲镉汞电学性能的影响

操神送 杜云辰 朱龙源 兰添翼 赵水平 罗 毅 乔 辉

[摘要]研究了利用ICP(Inductively Coupled Plasma)干法刻蚀工艺制备长波碲镉汞光导器件过程中刻蚀气体压强对材料电学参数的影响。发现增大气体压强会导致材料的电学性能衰退, 表现为材料的载流子浓度增加、迁移率降低以及电...

 PDF全文半导体光电 | 2017, 38(01):61

 化学机械抛光产生的碲镉汞材料亚表面损伤层的研究

乔辉 陈心恬 赵水平 兰添翼 王妮丽 朱龙源 李向阳

[摘要]针对化学机械抛光工艺对碲镉汞材料所产生的亚表面损伤层进行了研究。利用椭圆偏振光谱方法对经过腐蚀剥层的碲镉汞材料表面进行了光学表征, 认为化学机械抛光工艺造成的亚表面损伤层的深度大概为抛光工艺中所使用研磨...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(12):1204001

 感应耦合等离子体干法刻蚀中光刻胶掩模的异常性

乔辉 刘诗嘉 刘向阳 朱龙源 兰添翼 赵水平 王妮丽 李向阳

[摘要]利用光刻胶作刻蚀掩模对半导体样品进行感应耦合等离子体干法刻蚀时发现光刻胶掩模在刻蚀后表面出现凸起和孔洞等异常现象, 等离子体会透过部分孔洞对样品表面产生刻蚀损伤。利用探针式表面轮廓仪和激光共聚焦显微镜对...

 PDF全文半导体光电 | 2016, 37(01):59

 中波碲镉汞光伏探测器的实时gamma 辐照效应

乔辉 李淘 龚海梅 李向阳

[摘要]对中波碲镉汞光伏探测器进行了实时gamma 辐照效应研究.通过在辐照过程中对器件的电流—电压特性曲线进行测试,得到了器件电学性能随着gamma辐照剂量的变化.研究发现器件在辐照过程中表现出两种典型的辐照效应: 电离效...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(02):129

 集成浸没透镜结构碲镉汞光伏器件的研制

乔辉 王仍 焦翠玲 龚玮 李向阳

[摘要]采用等温气相外延方法(Isothermal Vapor Phase Epitaxy, ISOVPE)在CdZnTe衬底上生长出碲镉汞外延材料。 在此基础上研制出在近室温条件下工作、具有集成浸没透镜结构的碲镉汞光伏器件, 器件的工作波段为2.5 m~3.2 m。...

 PDF全文红外 | 2015, 36(03):16

 干湿结合法在CdZnTe衬底上制备折射型红外微透镜的研究

徐鹏霄 乔辉 王仍 刘诗嘉 曾巧玉 张可锋 李向阳

[摘要]针对现有微透镜加工方法难以在红外探测器衬底材料CdZnTe上实现大孔径、深浮雕微透镜制备, 提出了一种利用ICP-RIE干法刻蚀结合化学湿法腐蚀制备折射微透镜的方法, 通过采用多次光刻套刻后分别对CdZnTe材料进行高刻蚀速...

 PDF全文半导体光电 | 2014, 35(06):1022

 离子束刻蚀碲镉汞中转型宽度

徐国庆 刘向阳 王仍 储开慧 汤亦聃 乔辉 贾嘉 李向阳

[摘要]用Ar+离子束在p型HgCdTe(碲镉汞)上刻蚀出不同体积的环孔, 利用激光诱导电流方法测试转型后的n区宽度.研究发现, 在相同的刻蚀条件下, n区宽度取决于材料的汞空位浓度和被刻蚀HgCdTe体积.当被刻蚀HgCdTe体积相同时, n...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2014, 33(05):477

 利用二次阳极氧化方法降低N型碲镉汞材料表面复合速度

张立瑶 乔辉 李向阳

[摘要]利用微波反射光电导衰退法比较了采用一次阳极氧化和二次阳极氧化的N型碲镉汞材料的非平衡载流子寿命及其随温度的变化,通过与理论值进行比较拟合得到了碲镉汞材料表面复合速度随温度的变化曲线.结果发现,二次阳极氧...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2014, 33(04):391-394

 表面处理工艺对于N型HgCdTe材料和光导器件的影响

张立瑶 乔辉 李向阳

[摘要]报导了采用溴腐蚀和溴抛光两种表面处理工艺对于HgCdTe材料表面的影响,测试了材料的载流子浓度随迁移率分布曲线和迁移率变温曲线,将材料制成光导器件后测试了器件的电阻变温曲线,比较了溴腐蚀和溴抛光所得器件电阻...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2013, 32(06):498-501

 HgCdTe材料的溴-甲醇抛光工艺研究

张立瑶 乔辉 李向阳

[摘要]碲镉汞(HgCdTe)红外探测器制备中的化学-机械抛光工艺会在碲镉汞材料表面形成一定深度的损伤层。用溴-甲醇化学机械抛光取代溴腐蚀工艺, 有效地降低了抛光过程所产生的表面损伤。在溴-甲醇抛光工艺中, 可变参数有溶液的...

 PDF全文半导体光电 | 2012, 33(05):683-685

 不同钝化层结构的长波碲镉汞光伏探测器的γ辐照效应

乔辉 邓屹 胡伟达 胡晓宁 张勤耀 李向阳 龚海梅

[摘要]对采用单层ZnS和双层CdTe/ZnS两种钝化层结构的长波碲镉汞光伏器件进行了实时γ辐照效应研究.通过辐照过程中实时测试器件的电流-电压特性, 发现随着辐照剂量的增加, 两种器件表现出不同的辐照效应.结合光伏器件的电流...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2010, 29(01):6-9

 不同烘烤温度下HgCdTe光伏探测器的R-V特性研究

刘大福 乔辉 孔令才 贾嘉

[摘要]温度烘烤是pn结型器件加速实验的常用方法之一。针对室温工作的短波碲镉汞(HgCdTe)红外探测器开展了真空烘烤实验研究。实验样品分为四组, 对应的烘烤温度分别为60 ℃, 70 ℃, 80 ℃和90 ℃。在实验前后测试了器件的R-...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(s1):336-339

 光导型碲镉汞探测器的氢化研究

乔辉 周文洪 叶振华 李向阳 龚海梅

[摘要]为了提高碲镉汞红外探测器的性能,对ZnS钝化的碲镉汞光导型探测器进行了氢化处理研究,发现处理效果与氢等离子体密度和ZnS钝化层的厚度密切相关.对于ZnS层厚度固定的器件,通过改变氢等离子体密度发现低等离子体密度条件...

 PDF全文红外与激光工程 | 2008, 37(02):261-264

 LBIC技术研究InGaAs线列探测器串音及光敏感区

吕衍秋 乔辉 韩冰 唐恒敬 吴小利 李雪 龚海梅

[摘要]利用激光诱导电流技术研究了InGaAs台面探测器的相邻探测器间的串音和光敏感区.用分子束外延方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,制备了256×1正照射台面InGaAs线列探测器.测试结果表明,InGaAs线列探...

 PDF全文红外与激光工程 | 2007, 36(05):708-710

 碲镉汞光伏型探测器的氢化处理研究

乔辉 周文洪 叶振华 李向阳 龚海梅

[摘要]利用氢等离子体方法研究了氢化处理对碲镉汞光伏型红外探测器性能的影响,发现对ZnS介质层钝化的器件进行氢化处理后,器件的信噪比和零偏电阻有显著的改善.通过采取在氢化过程中进行光刻胶保护的方法,发现氢化作用主要发...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2007, 26(05):326-328

 低温退火对HgCdTe中波光导器件γ辐照效应的影响

白云 乔辉 李向阳 龚海梅

[摘要]研究了低温退火对HgCdTe中波光导探测器γ射线辐照效应的影响.经过剂量为1 Mrad的辐照后,器件的性能下降.对经过辐照的器件进行低温退火,退火温度范围为313~333 K,退火时间在5~16 h之间不等.在相同条件下测量了器件辐...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2007, 19(02):301-304

 HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究

储开慧 乔辉 汤英文 陈江峰 胡亚春 贾嘉 李向阳 龚海梅

[摘要]在HgCdTe光伏探测器件SiO2+ZnS复合介质膜钝化中,引入O+2清洗和Ar+刻蚀两种等离子体处理工艺,大大提高薄膜附着力,成功制备出优良的光伏器件.对处理前后的样品进行场发射扫描电子显微镜扫描、原子力显微镜扫描和二次离...

 PDF全文光学仪器 | 2006, 28(04):56-59

 1 MeV电子辐照对短波Hg1-xCdxTe光伏探测器的影响

黄杨程 乔辉 贾嘉 李向阳 龚海梅

[摘要]研究了1 MeV电子辐照对短波Hg1-xCdxTe光伏探测器的影响.通过测试电子辐照前后光伏探测器的响应光谱、信号、噪声、暗电流等性能参数,分析了电子辐照对Hg1-xCdxTe光伏器件的影响机制.实验结果发现:电子辐照后器件响应光...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2005, 17(01):25-28

 1 MeV电子辐照对碲镉汞中波光导器件的影响

乔辉 贾嘉 陈新禹 李向阳 龚海梅

[摘要]研究了1MeV电子辐照对中波碲镉汞光导器件的影响.通过测试辐照前后光导器件的室温和低温体电阻、响应光谱、电流响应率和探测率等性能参数,结果发现经过电子辐照,器件的峰值和截止波长在辐照后向短波方向移动.在辐照剂...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2004, 23(03):172-175

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